近年來隨著科技的發展快速，現今半導體科技產業高度自動化外，晶圓加工之線鋸機用線材之複捲裝置需求正方興未艾，傳統產業中的紡織產業自動化也在其專業領域上精進不少，不論是在各式的織造法下，其生產製造過程中紗線的張力控制成了極為重要的一環，因此兩者的應用結合可解決複捲線置相關問題。本研究主要目的是利用紡織織造製程中的張力控制、排線控制及線軸的捲繞成型原理應用於各類型晶圓加工線鋸之複捲機上。在機械設計同時考量到不同規格線軸的複捲需求，所以使整機於機構設計上有兩組捲繞模組，可以依不同的需求去定義該模組為供線端或是收線端，在捲繞模組中是分別各由兩軸所組成並依所需的繞線規格相互運作，以達到線材在分繞及複捲過程中有良好的成形品質，張力控制單元是運用荷重元 (Load Cell) 在線材施予外力時將機械力透過應變規轉換成電子訊號傳遞到控制單元，再由控制單元給予動力元件下動作命令作速度變化控制，使在繞線的過程中維持穩定的張力，張力穩定與否關係著繞線品質。本研究相關成果可供日線材之複捲製程發展，減少因繞線成形不良造成使後續線鋸切割製程時發生斷線問題，進而提高切割效率與品質。

With technology having developed rapidly in recent years and a high degree of automation used by semiconductor technology industry nowadays, demand for wire rewinding device increaser for wire sawing machine in wafer processing. Traditional textile industry has made progress incessantly in its use of automation. Tension control of yarns has become a crucial part in manufacturing process of various weaving methods.Therefore, integration of wire saw process.textile of wire rewinding can solve problems related to rewinding device. The aim of the research is to apply tension control and cable control in winding process of weaving and winding principle of wire spindle to rewinding device of wire sawing machine in wafer processing. Design of machine has taken rewinding process of wire spindle of different specifications into consideration. Consequently, mechanism design of entire machine results in two winding modules, in which each module can be either wire feed end or wire wind end depending on different demand for winding. Two beams are adopted in winding modules respectively according to specification of winding to minimize variation in length of wire in splitting and rewinding process, resulting in better quality of wire in splitting and rewinding process. A load cell is adopted in the tension unit to transform mechanical force from wire to electrical signal which is transmitted to control unit. Control unit then gives action commands to power element to control change in velocity to maintain constant tension required in winding process which affects quality of winding. Result of this research can benefit the development in wire rewinding, alleviating problem of wire breaks in wire saw processing due to forming deficiency of wire in rewinding and enhancing the efficiency and quality of sawing.

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