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    1

    1,2,4-Triazole抑制劑之拋光液於銅膜晶圓化學機械拋光後清洗製程影響研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 戴佩瑜 指導教授:
    • 晶圓經過化學機械拋光(CMP)製程後,晶圓表面通常殘留大量拋光液中之磨料、金屬離子及其他污染物,若無有效去除CMP製程後之殘留污染物以及拋光所產生之表面損傷,則將影響後續薄膜沈積、微影等製程之良率,…
    • 點閱:267下載:13

    2

    固態照明之導光菱鏡設計與分析
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 楊坤賢 指導教授:
    • 本論文目的為設計新型導光菱鏡其出光面含非對稱鋸齒結構,使LED光源均勻傳導於垂直平面上,達到照明的功用,設計概念利用光學折射與反射原理設計基礎模型,再設計鋸齒結構並以光學模擬軟體TracePro模擬…
    • 點閱:238下載:4

    3

    線鋸製程用線材之複捲機研製
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 陳正昌 指導教授:
    • 近年來隨著科技的發展快速,現今半導體科技產業高度自動化外,晶圓加工之線鋸機用線材之複捲裝置需求正方興未艾,傳統產業中的紡織產業自動化也在其專業領域上精進不少,不論是在各式的織造法下,其生產製造過程中…
    • 點閱:286下載:13

    4

    射出成形之功能按鍵彈臂長度影響與疲勞壽命分析
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 李冠延 指導教授:
    • 本研究目的在探討3C產品中常用的功能按鍵,在融膠充填的過程中流經不同長度設計的彈臂,對翹曲量與疲勞壽命的影響。利用模流分析軟體Modex3D R9.1與有限元素分析軟體ANSYS Workbench…
    • 點閱:208下載:7

    5

    雙面微溝槽之薄件射出成形研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 陳永坤 指導教授:
    • 本研究主要目的在探討雙面V型微溝槽射出成形之轉寫性,即微溝槽成形率的影響。本研究先進行模流分析部分,分別對單面微溝槽,雙面平行微溝槽及雙面垂直微溝槽進行充填分析,然後對單面微溝槽進行操作視窗探討,再…
    • 點閱:652下載:9

    6

    股骨截肢長度與骨腫瘤對人工關節之應力分析影響
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 吳宗曄 指導教授:
    • 本研究目的首要建立股骨實體模型重建的標準程序,以及使用腫瘤系列之人工關節植入股骨之有限元素分析流程。藉由醫學影像、電腦輔助設計及有限元素分析軟體,建立兩部分的模型,第一為幾何模型,其中包含三維股骨視…
    • 點閱:214下載:12

    7

    乙二胺四乙酸溶液輔助複線式鑽石線鋸加工製程於鉭酸鋰晶圓之研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 蔣易達 指導教授:
    • 鉭酸鋰晶圓(Lithium Tantalate, LT)於材料上具有獨特優異的焦電(Pyroelectric)、壓電(Piezoelectricity)和電光(Electro-optic)等特性,此…
    • 點閱:258下載:1

    8

    運用機器學習於單晶矽晶圓鑽石線鋸加工之進給最佳化研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 陳柏佑 指導教授:
    • 近年來工業4.0逐漸應用於半導體領域,隨著GPU、CPU兩者的普及化使得深度學習爆炸性的成長,身為關鍵半導體製造基礎材料,矽晶圓切片製程參數對於減少後續研、拋成本,顯得格外重要,鑽石線鋸為目前矽晶圓…
    • 點閱:241下載:1

    9

    銅化學機械平坦化之軟拋光墊性能指標分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 蕭百成 指導教授:
    • 隨著半導體元件金屬導線製程不斷微細化追求更高解析度的技術。化學機械拋光平坦化(Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)不斷面臨許多挑戰。CM…
    • 點閱:208下載:1

    10

    智慧晶圓之無線動態化學機械拋光製程參數壓力與溫度量測系統
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 黃信傑 指導教授:
    • 在半導體產業中,晶圓於化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Polishing /Planarization, CMP)過程中,下壓力變化可能會產生如表面刮傷、翹曲及腐蝕等缺…
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