中文摘要

目前半導體電子產業迅速發展，聚醯亞胺常被廣泛應用於電路板銅基材之絕緣材料以及半導體元件內部之絕緣性封裝等用途，因此產業界對於電子用化學品和材料的需求日益提升。它也可以用來作連結器，軟性電路基板等電子零件，以及液晶元件上所使用的配向膜，因此對於聚醯亞胺所要求的條件便越加嚴苛。

當半導體製程進入深次微米世代，而積體電路 ( Integrated circuit , IC ) 的技術主要著重於元件的縮小化，然而，元件速度受限於訊號在金屬連線間傳達的延遲效應 ( RC time - delay )，為了改善此問題，必須利用低介電常數材料來降低金屬連線之導線間的電容值及訊號在金屬連線間的時間延遲，進而提高元件之工作效率，並且可以降低功率的消耗 ( Power dissipation ) 及訊號干擾 ( Cross ﹣talk noise ) 。在眾多的低介電常數材料中，本論文嘗試使用其四乙氧基矽烷 ( Tetraethoxysilane , TEOS ) 和無水乙醇反應並摻入液晶性聚醯亞胺酸當中進行縮合反應混成後形成其奈米複合材料，並探討其基本之物性、耐熱性以及初步研究之電氣性質等。

而有機/無機混成複合材料是目前學術界及產業界熱門的研究主題，其特徵主要是利用有機的高分子材料與無機的陶瓷材料 ( 如層狀黏土 ( 蒙脫土clay ) 或球狀之二氧化矽 ( SiO2 ) ) 其兩者之特性相乘而形成所謂的 〝 奈米 〞 複合材料，其中以溶膠 ( Sol ) ﹣凝膠 ( Gel ) 反應為製造此類材料的有效方法；當無機材料分散於有機基材其粒徑大小在奈米的範圍時，藉著分子與分子間的作用力，克服傳統材料在巨觀上的相分離現象，以達到材料之高功能要求。因此，本論文之研究內容即是利用不同比例的SiO2無機材質，進行溶膠 ﹣凝膠反應，且藉由均勻之攪拌而使其有效地分散於有機的聚醯亞胺基材當中，以形成奈米級有機 / 無機混成複合材料，並進一步探討所合成之奈米複合材料的化學結構、機械性質、熱性質、表面形態、吸水性質以及初步研究之電氣性質等。

本研究為利用所製備之有機單體 ( BACB + PMDA ) 先合成具有液晶性之聚醯亞胺酸 ( LCPAA ) 再經由與四乙氧基矽烷 ( TEOS ) 與無水乙醇 ( Ethanol ) 發生溶膠 ﹣凝膠反應可以得到一含有Silanol奈米粒子之液晶性聚醯亞胺酸 / Silanol複合材料，並於加熱脫水之熱醯亞胺環化反應後以形成液晶性聚醯亞胺 / SiO2奈米複合材料。

但是為了要了解含有奈米SiO2粒子之液晶性聚醯亞胺 / SiO2複合材料其熱穩定性、機械性質以及電氣性質是否會比原基材之液晶性聚醯亞胺高分子更為優異，並且在液晶性聚醯亞胺高分子內，當奈米之SiO2粒子其含量多少時會使此改善性質出現最佳值。研究中使用了TGA以及DSC來測試其材料的熱性質分析；而微電腦拉力試驗機可用來測試其材料的機械性質分析；高電阻計量測儀則是用來測量材料的電氣絕緣性 ( 如介電常數、表面電阻值以及體積電阻率等性質分析 )；POM為鑑定材料為何種液晶相類型；XRD用來測試材料之結晶性質 ( 純的高分子基材與添加奈米微粒後對於基材本身分子排列的影響 )；FTIR為鑑定材料的官能基之特性吸收峰；1H-NMR為鑑定材料之H原子的個數對照及其化學位移的程度；29Si-NMR為鑑定無機材料的鍵結情形；EA、EDS與ESCA為用來量測材料的元素組成以及元素含量比例；另外也使用了POM以及FESEM來觀察材料表面粒子的分散程度，以及材料表面與橫斷面之SiO2粒子的粒徑大小、分佈情形，以了解其有機 / 無機介面是否有相分離的情形發生；吸水性質測試為觀察薄膜材料的阻水性；雙折射儀 ( TFM ) 為觀察薄膜材料的透明程度；UV / Vis則是觀察材料之吸收波長介於何種顏色範圍的波長。經由上述多項儀器之測試分析，以期能夠詳加了解其材料的特性及其用途所在；基本上，是希望能夠應用於現今所使用的積體電路當中之多層金屬連線的低介電絕緣層材料，以及作為低介電絕緣材料所需符合的基本特性之要求。

ABSTRACT

In this study, two kinds of monomers-1,3-bis[4-(4’-amino-Phenoxy)cumyl]benzene (BACB) and pyromellitic dianhydride (PMDA) were used to synthesize the Liquid Crystalline Polyamic acid-a precursor (LCPAA) of Liquid Crystalline Polyimide (LCP). A series of liquid crystalline polyimide/SiO2 nanohybrid films with SiO2 6.5 wt% contents were successfully prepared by the Sol-Gel reaction. The Sol-Gel method was adopted to prepare a pure inorganic glass precursor which starts with hydrolysis of tetraethoxysilane (TEOS). TEOS (99 %)-ethanol (99.8 %) solution was added to LCPAA solution were prepared by a droplet. The hybrid films were made by the hydrolysis-polycondensation of TEOS-ethanol in the LCPAA solution. When water and the solvent were removed completely, the LCP/SiO2 hybrid films were obtained. The functional group and chemical structure were characterized by FTIR spectroscopy. In order to understand whether the nano-SiO2 particle was introduced into the polymer matrix and enhanced the thermal properties and mechanical strength, we employed a number of instruments. The liquid crystalline phase of the LCP and LCP/SiO2 hybrid films were observed by POM. TGA and DSC were used to test the thermal properties, and the stress-strain tests were used to measure the mechanical properties of the hybrid films. The LCP/SiO2 exhibited a better thermal property than LCP. The crystallization and liquid crystal phase analyses were carried out by XRD. The EA and ESCA were employed to measure the BNCB, BACB monomers, LCP and LCP/SiO2 hybrid films qualitatively and quantitatively.

Besides, the surface and cross-sectional morphology of the materials were observed with an FESEM to understand the particle size of SiO2, distribution and organic/inorganic phase interface. The electrical properties (e.g., dielectric constant, surface resistivity and volume resistivity) of hybrid films were measured by the high resistance analysis and dielectric constant analysis. The results indicate that the glass transition temperature (Tg) and the thermal decomposition temperature (Td) of LCP/SiO2 hybrid films increased with increasing SiO2 content. However, the dielectric constant of LCP and LCP/SiO2 hybrid films decreased with increasing SiO2 content. The surface resistivity and volume resistivity of LCP and LCP/SiO2 hybrid films increased with increasing SiO2 content, whereas the tensile strength had a maximum with the variety of SiO2 content.

參考文獻

第一章 參考文獻

1.1.1 參考文獻

01. 柯揚船譯 , 聚合物 – 無機納米複合材料 , 科學工業出版社 ( 2003 )

02. 私立中原大學 , 化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之製備與性質研究 , 研究生：陳坤玉 , 指導教授：葉瑞銘 ( 2002 )

03. 郭文法 , 納米複合材料加工應用 , 工業材料 , 125期

04. 國立交通大學 , 應用化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：有機 / 無機多面體矽氧烷寡聚物奈米複合材料 , 研究生：李建裕 , 指導教授：張豐志 ( 2002 )

1.2.6 參考文獻

01. 張立德編著 , 奈米材料 ( Nanomaterials ) , 五南圖書出版股份有限公司 ( 2002 )

02. 張立德、牟季美著 , 奈米材料和奈米結構 , 滄海書局 ( 2002 )

03. 周森著 , 複合材料 – 奈米•生物科技 – , 全威圖書有限公司 ( 2002 )

04. BIOERA生技時代2002年6月刊

05. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：可溶性聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之合成與性質研究 , 研究生：邱致銘 , 指導教授：蔡三元 ( 2003 )

06. 林景正、賴宏仁 , 奈米材料技術與發展趨勢 , 工業材料 , 9 ( 1999 )

1.3.4 參考文獻

01. 張立德編著 , 奈米材料 ( Nanomaterials ) , 五南圖書出版股份有限公司 ( 2002 )

02. 張立德、牟季美著 , 奈米材料和奈米結構 , 滄海書局 ( 2002 )

03. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：液晶性聚醯亞胺 / 黏土奈米複合材料之合成與特性探討 , 研究生：鄭元平 , 指導教授：李俊毅 ( 2004 )

04. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺 / 蒙脫土奈米複合材料之合成與特性探討 , 研究生：許方嶽 , 指導教授：李俊毅 ( 2003 )

05. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：不同有機改質黏土於聚醯亞胺 / 黏土奈米複合材料之製備與鑑定 , 研究生：賴昱辰 , 指導教授：李俊毅 ( 2003 )

06. 周森著 , 複合材料 – 奈米•生物科技 – , 全威圖書有限公司 ( 2002 )

07. Yano, K.; Usuki, A.; Okada, A.; Kurauchi, T.; Kamigaito, O. J. polym. Sci , Polym. Chem., 31, p. 2493-2498 (1993)

08. Tyan, H. L.; Liu, Y. C.; wei, K. H Polymer, p. 4877-4886 (1999)

09. Ralph, E. G..; ‘Clay mineralogy’, 2nd Ed; New York: McGraw-Hill. (1968)

10. Grim, R. E.; ‘Clay mineralogy’, 2nd Ed; New York: McGraw - Hill ( 1969 )

11. 黃銳、王旭、李忠明 , 奈米塑膠 , 北京 , 中國輕工業出版社 ( 2002 )

12. Yano, K.; Kim K.; Woo, S. H.; Chang, H. J. appil. Phys., 81, p.698-708 ( 1997 )

13. Okada, A. et al. Polym., prepr., 28, p.447 (1987)

14. Zhu, Z. K.; Yang,Y.; Yin, J.; Wang, X. Y.; Ke, Y. C.; Qi, Z. N. J. A. Polym. sci., p.2063-2068 (1999)

15. Agag, T.; Koga, T.; Takeichi, T. Polymer, 42, p.3399-3408 (2001)

16. Wen, J. Y.; Wilkes, G. L. Chem. Mater., 8, P.117 (1994)

17. Giannelis, E. P. Adv. Mater., 8, p.29 (1996)

18. LeBaron, P. C.; Wang, Z.; Pinnavaia, T. J. Appl. Clay Science, 15, p.11-29 (1999)

19. 私立中原大學 , 化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之製備與性質研究 , 研究生：陳坤玉 , 指導教授：葉瑞銘 ( 2002 )

20. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺奈米矽氧烷複合材料選擇性封裝之研究 , 研究生：樂文禮 , 指導教授：周澤川 ( 2002 )

21. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：可溶性聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之合成與性質研究 , 研究生：邱致銘 , 指導教授：蔡三元 ( 2003 )

22. Munro B.; Conrad, P.; Kramer, S.; Schmidt, H. Solar Energy Materials and Solar Cells, 54, p.131
(1998)

23. 柯揚船譯 , 聚合物 – 無機納米複合材料 , 科學工業出版社 ( 2003 )

24. 徐國財、張立德 , 奈米複和材料 , 北京 , 化學工業出版社 ( 2002 )

25. 林振華、林振富編譯 , 高密度軟性電路版入門 , 全華科技圖書股份有限公司印行 ( 2000 )

1.4.8 參考文獻

01. 劉瑞祥譯 , 液晶之基礎與應用 , 國立編譯館出版 , 復文書局總經銷 ( 1996 )

02. 賴耿陽編著 , 液晶製法與應用 , 復漢出版社 ( 2001 )

03. 周其鳳、王新久著 , 液晶高分子 , 科學出版社 ( 1999 )

04. 楊怡寬、郭蘭生、鄭殷立編譯 , 液晶化學及物理入門 , 偉明圖書有限公司 ( 2001 )

05. 劉鳳岐、湯心頤編著 , 高分子物理 , 高等教育出版社 ( 1995 )

06. 何曼君 , 董西峽 , 陳維孝編著, 高分子物理 , 復旦大學出版社 ( 1990 )

07. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：液晶性聚醯亞胺 / 黏土奈米複合材料之合成與特性探討 , 研究生：鄭元平 , 指導教授：李俊毅 ( 2004 )

08. 李建輝 , “熱向型液晶高分子的合成與應用” , 材料與社會 , 第69期 , P.67 ∼ 72 ( 1992 )

09. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯胺與含苯系聚醯亞胺團鏈共聚合物之合成、鑑定及其物性之研究 , 研究生：祝復杭 , 指導教授：郭人鳳、陳志勇 ( 1996 )

10. 私立大同工學院 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺酯的合成及其液晶性質之探討 , 研究生：許世坤 , 指導教授：楊金平 ( 1989 )

11. Lenz, R. W. et al. British Polymer Journal Liq. Cryst. Polym. Symp., P. 132-146 (1980)

12. 張超群 , “液晶高分子的應用現況及未來發展專題調查報告” , 工業技術研究院 , pp. 24 ∼ 33 ( 1996 )

13. Bessonov, M. I.; Koton, M. M.; Kudryavtsev, V. V.; Laius, L. A.; ‘Polyimide: Thermally Stble Polymer’, 2nd Ed; New york: Plenum. (1987)

1.5.4 參考文獻

01. 周森著 , 複合材料 – 奈米•生物科技 – , 全威圖書有限公司 ( 2002 )

02. 國立台灣科技大學 , 纖維及高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：共聚型聚醯胺醯亞胺之合成與銅箔接著之研究 , 研究生：黃淑惠 , 指導教授：周森 ( 2000 )

03. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：二胺種類對PI物性及PAA環化條件之影響效應 , 研究生：鍾慶鴻 , 指導教授：邱顯堂 ( 2004 )

04. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：液晶性聚醯亞胺 / 黏土奈米複合材料之合成與特性探討 , 研究生：鄭元平 , 指導教授：李俊毅 ( 2004 )

05. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺奈米矽氧烷複合材料選擇性封裝之研究 , 研究生：樂文禮 , 指導教授：周澤川 ( 2002 )

06. 國立中山大學 , 材料科學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺 / 黏土奈米複合材料之物理化學性質與微結構分析 , 研究生：餘君臨 , 指導教授：許子建 ( 2001 )

07. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：可溶性聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之合成與性質研究 , 研究生：邱致銘 , 指導教授：蔡三元 ( 2003 )

08. Morikawa A.; Iyoku, Y.; Kamimoto, M.; Imai, Y. Polym. J., 24, 1, 107 (1992)

09. Charlier, Y.; Hedrick, J. L.; Russel, T. P.; Jonas, A.; Volksen, W. Polymer 36, 5, 987-1002 (1995)

10. Ahmad, Z.; Mark, J. E. Chem. Mater., 13, 3320-3330 (2001)

11. Yano, K.; Usuki, A.; Okada, A. J. Polym. Sci., Polym. Part A: Polym. Chem., 35, 11, 2289-2294 (1997)

12. 丁孟賢、何天白編著 , 聚醯亞胺新型材料 , 科學出版社 ( 1998 )

13. Wang, S.; Ahmad, Z.; Mark, J. E. Chem. Mater., 6, 943-946 (1994)

14. 林振華、林振富編譯 , 高密度軟性電路版入門 , 全華科技圖書股份有限公司印行 ( 2000 )

1.5.5 其它參考文獻

a. 馬振基編著 , 高分子複合材料 , 正中出版社 ( 1995 )

1.6.2 參考文獻

01. Ting, C. H.; Conference Program and Abstracts , Advanced Metallization for ULSI Applications. Conference, P.517 (1994)

02. Mei, Y. J. et al. Thin Solid Film, Vol. 308-309, P.501 (1997)

03. Chang, T. C.; Mel, Y. J.; Chang, H. S.; Chang, S. J.; Wu, W. F.; Pan, F. M.; Dal, B. T.; Chen, M. S. K.; A.
Tnang and C. Y. Chang, VLSI MultilevelInterconnection.Conference, P.695 (1997)

04. Chang, T. C.; Mel, Y. J.; Lin, Y. L.; Chang, S. J.; Chang, C. Y.; Lur, W.; Shih, F. Y.; Huang, H. D.,
Dielectric for USLI Multievel Interconnection Conference, P.337 (1997)

05. 吳朗編著 , 絕緣陶瓷 - 絕緣 , 全欣科技圖書 ( 1994 )

06. 吳朗編著 , 絕緣陶瓷 - 介電 , 全欣科技圖書 ( 1994 )

07. 邱碧秀編著 , 電子陶瓷材料 , 徐氏基金會出版 ( 1988 )

1.6.3 其它參考資料

a. 國立台灣大學 , 化學工程系研究所 , 碩士學位論文 , 題目：低介電常數聚矽氧烷與聚醯亞胺之薄膜性質與動力學研究 , 研究生：楊昌中 , 指導教授：陳文章 ( 2000 )

b. 國立清華大學 , 化學工程學系研究所 , 碩士學位論文 , 題目：低介電常數材料機械性質之研究 , 研究生：劉繼文 , 指導教授：周更生 ( 2002 )

c. 國立清華大學 , 化學工程學系研究所 , 碩士學位論文 , 題目：多孔氧化矽薄膜之覆膜程式與電性分析研究 , 研究生：黃雅鈺 , 指導教授：周更生 ( 2002 )

d. 私立中原大學 , 化學工程學系研究所 , 碩士學位論文 , 題目：多孔隙二氧化矽薄膜製備與電漿處理之研究 , 研究生：李益維 , 指導教授：魏大欽 ( 2003 )

e. 國立清華大學 , 材料科學與工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：新溶凝膠法製作低介電多孔性SiO2薄膜之研究 , 研究生：蔡蕙嫈 , 指導教授：葉均蔚 ( 2002 )

f. 國立交通大學 , 材料科學與工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：溶 - 凝膠法製備聚醯亞胺 - 有機矽酸鹽複合材料及其特性之研究 , 研究生：劉思伶 , 指導教授：謝宗雍 ( 2001 )

g. 國立交通大學 , 材料科學與工程研究所 , 博士學位論文 , 題目：低介電多面體倍半矽氧烷寡聚物 ( POSS ) / 聚醯亞胺奈米複合材料之合成與性質分析 , 研究生：呂奇明 , 指導教授：韋光華 ( 2002 )

h. 張鼎張1、周美芬2 , 有機高分子低介電材料簡介, 電子月刊 , 第六卷第一期
1 . 國家奈米元件實驗室
2 . 國立交通大學 電子工程系研究所 博士生

i. 蔡明蒔、戴寶通 , 低介電常數聚醯亞胺膜之化學機械研磨特性研究 , 電子月刊 , 第六卷第四期 , 國家奈米元件實驗室。

j. 劉繼文、賴明志、戴寶通 , 低介電常數材料機械性質之研究 , 電子月刊 , 第七卷第二期 , 國家奈米元件實驗室。

第二章 參考文獻

2.3 參考文獻

01. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺奈米矽氧烷複合材料選擇性封裝之研究 , 研究生：樂文禮 , 指導教授：周澤川 ( 2002 )

第三章 參考文獻

3.7 參考文獻

01. Tamai, S.; Ohkawa, Y.; Yamaguchi, A. Polyme, 38, pp.4079-4084 (1997)

02. Huang, J. C.; Zhu, ZI. K.; Yin J.; Zhang, D. M.; Qian, X. F. J. Appl. Polym. Sci., 79, 794 (2001)

03. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺奈米矽氧烷複合材料選擇性封裝之研究 , 研究生：樂文禮 , 指導教授：周澤川 ( 2002 )

第四章 參考文獻

4.18 參考文獻

01. 國立交通大學 , 材料科學與工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：溶 - 凝膠法製備聚醯亞胺 - 有機矽酸鹽複合材料及其特性之研究 , 研究生：劉思伶 , 指導教授：謝宗雍 ( 2001 )

02. 國立成功大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺奈米矽氧烷複合材料選擇性封裝之研究 , 研究生：樂文禮 , 指導教授：周澤川 ( 2002 )

03. 高家武主編 , 高分子材料近代測試技術 , 北京航空航太大學出版社 ( 1994 )

04. Tamai, S.; Ohkawa, Y.; Yamaguchi, A. Polymer, 38, pp.4079-4084 (1997)

05. Liu, S. L.; Chung, T. S.; Lu, L.; Torh, Y.; Oikawa, H.; Yamaguchi, A. Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics, Vol. 36, 1679-1694 (1998)

06. Liu, S. L.; Chung, T. S.; Oikawa, H.; Yamaguchi, A. Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics, Vol. 38, 3018-3031 (1998)

07. 私立中原大學 , 化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚鄰 - 胺基苯乙基醚/黏土之奈米複合材料 , 研究生：陳啟倫 , 指導教授：葉瑞銘 ( 2000 )

08. 私立中原大學 , 化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之製備與性質研究 , 研究生：陳坤玉 , 指導教授：葉瑞銘 ( 2002 )

09. Huang, J. C.; Zhu, Z. K.; Yin, J.; Zhang, D. M.; Qian, X. F. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 79, 794-800 (2001)

10. Olmsted & Williams; CHEMISTRY, THIRD EDITION; John Wiley & Sons, Inc. (2002)

11. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：二胺種類對PI物性及PAA環化條件之影響效應 , 研究生：鍾慶鴻 , 指導教授：邱顯堂。

12. Hasegawa, M.; Mita, I.; Kochi, M.; Yokota, R J. Polym. Sci. Pan. C Polym. Lett., 27, 263, (1989)

13. Hasegawa, M.; Shindo, Y.; Sugimuya, T.; Ohshima, S.; Hone, K.; Kochi, M.; Yokota, R.; Mita, I. J. Polym. Sci. Part. B Polym. Phys., 31, 1617 (1993)

14. St. Clair, A. K.; St. Clair, T. L.; Slemp, W. S.; Ezzell, K. S.; Proceedings of the 2nd International Conference on Polyimides; Ellenville, P. 333, NY (1958)

15. Tokita, Y.; Ino, Y.; Okamoto, A.; Hasegawa, M.; Shindo, Y.; Sugimura, T.; Kobunshj Ronbunshu., 51 (4), 245 (1994)

16. Hasegawa, M.; Shindo, Y.; Sugimura,T. S.; Oghshima, K.; Horie, M.; Kochi, R.; Mita, I. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys., 31, 1617 (1993)

17. Hasegawa, M.; Mita, I.; Kochi, M.; Yokota, R. J. Polym. Sci., Part C: Polym. Lett., 27, 263 (1989)

18. Khayankarn, O.; Magaraphan, R.; Schwank, J. W. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 89, 2875-2881 (2003)

19. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：液晶性聚醯亞胺 / 黏土奈米複合材料之合成與特性探討 , 研究生：鄭元平 , 指導教授：李俊毅 ( 2004 )

20. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：高分子固態電容器化成箔表面形態及製程參數之研究 , 研究生：陶育均 , 指導教授：邱顯堂。

21. 吳朗編著 , 絕緣陶瓷 - 絕緣 , 全欣科技圖書 ( 1994 )

22. 吳朗編著 , 絕緣陶瓷 - 介電 , 全欣科技圖書 ( 1994 )

23. 邱碧秀編著 , 電子陶瓷材料 , 徐氏基金會出版 ( 1988 )

第六章 參考文獻

6.3 參考文獻

01. Huang, Y.; Gu, Y. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 88, 2210-2214 (2003)

02. 私立中原大學 , 化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之製備與性質研究 , 研究生：陳坤玉 , 指導教授：葉瑞銘 ( 2002 )

03. 國立交通大學 , 材料科學與工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：溶 - 凝膠法製備聚醯亞胺 - 有機矽酸鹽複合材料及其特性之研究 , 研究生：劉思伶 , 指導教授：謝宗雍 ( 2001 )

04. Kim, Y.; Kang, E.; Kwon, Y. S.; Cho, W. J.; Chang, M.; Ree, M.; Chang, T.; Ha, C. S. Synthetic Metal, 85, P.1399-1400 (1997)

第七章 其它參考文獻

7.1 國外期刊參考資料

1. Schrotter, J. C.; Smaihi, M.; Guizard, C. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 61, 2137-2149 (1996)

2. Wu, K. H.; Chang, T. C.; Wang, Y. T.; Chiu, Y. S. Journal of Polymer Scienc: Part A: Polymer Chemistry, Vol. 37, 2275-2284 (1999)

3. Zhu, Z. K.; Yang, Yong; Yin, J.; QI,Z. N. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 73, 2977-2984 (1999)

4. Ha, C. S.; Cho,W. J. Polym. Adv. Technol. 11, 145-150 (2000)

5. Kim, Y.; Lee, W. K.; Cho, W. J.; Ha, C. S.; Ree, M. & Chang, T.; Polymer International, 43, 129-136 (1997)

6. Bershtenin, V. A.; Egorova, L. M.; Yakushev, P. N.; Pissis, P.; Sysel, Brozova, P. L. Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics, Vol. 40, 1056-1069 (2002)

7. Liu, J.; Gao, Y.; Wang, F.; Wu, M. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 75, 384-389 (2000)

8. Qiu, W.; Luo, Y.; Chen, F.; Duo, Y.; Tan, H. Polymer, 44, 5821-5826 (2003)

9. Huang, Y.; Gu, Y. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 88, 2210-2214 (2003)

10. Luise, R. R.; Sauer, B. B. Polymer, 44, 1095-1101 (2003)

11. Kusakabe, H.; Ichiki, K.; Hayashi, J. I.; Maeda, H.; Morooka, S. Journal of Membrane Science, 115, 65-75 (1996)

12. Kang, S. J.; Kin, D. J.; Hoonlee, J.; Choi, S. K.; Kim, H. Mol. Cryst. Liq. Cryst., Vol. 280, pp. 277-282 (1996)

13. Shantalii, T. A.; Karpova, I. L.; Dragan, K. S.; Privalko, E. G.; Privalko, V. P. Science and Technology of Advanced Materials, 4, 115-119 (2003)

14. Shiue G. H.; Chen, J. K.; Liu, Y. L. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 76, 1609-1618 (2000)
15. Agarwal, G. K.; Titman, J. J.; Percy, M. J.; Armes, S. P. J. Phy. Chem. B, 107, 12497-12502 (2003)

16. Qiu, F. X.; Zhou, Y. M.; Liu, J. Z. European Polymer Journal, 40, 713-720 (2004)

17. Zhu, Z. K.; Yin J.; Cao, F.; Shang, X. y.; Lu, Q. H. Adv. Mater. 12, No.14 (2000)

18. Park, H. B.; Kim, J. H.; Kim, J. K.; Lee, Y. M. Macromol. Rapid Commun., 23, 544-550 (2002)

19. Huang, J. C.; Zhu, Z. K.; Yin, J.; Zhang, D. M.; Qian, X. F. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 79, 794-800 (2001)

20. Beecroft, L. L.; Johnen, N. A.; Ober, C. K.; Polymers for Advanced Technologies, Volume 8, pp. 289-296 (1997)

21. Avadhani, C. V.; Chujo, Y. Applied Organometallic Chemistry, Vol. 11, 153-161 (1997)

22. Tamai, S.; Ohkawa, Y.; Yamaguchi, A. Polymer, Vol. 38, No. 16, pp. 4079-4084 (1997)

23. Boisvert, J. P.; Persello J.; Guyard, A. Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics, Vol. 41, 3127-3138 (2003)

24. Nunes, R. C. R.; Fonseca, J. L. C.; Pereira, M. R. Polymer Testing, 19, 93-103 (2000)

25. Khayankarn, O.; Magaraphan, R.; Schwank, J. W. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 89, 2875-2881 (2003)

26. Kar, S.; Raychaudhuri, A.; Sinha, A. K.; Ashok, S. Applied Surface Science, Volume 48-49, Page 264-268 (1991)

27. Zhang, L.; Tam, K. C.; Gan, L. H; Yue, C. Y.; Lam, Y. C.; Hu, X. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 87, 1484-1492 (2003)

28. Lee, M. W.; Hu, Xiao; Li, L.; Yue, C. Y.; Tam, K. C. Polym. Int. 52, 276-284 (2003)

29. Lee, C. J.; Oh, S. J.; Song, J. K.; Kim, S. J. Materials Science and Engineering C 24, 265-268 (2004)

30. Huang, Y.; Qin J.; Gu, Y. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 93, 1198-1202 ( 2004)

31. Yen, C. T.; Chen, W. C.; Liaw, D. J.; Lu, H. Y. Polymer 44, 7079-7087 (2003)

32. Chang, J. H.; Seo, B. S.; Hwang, D. H. Polymer 43, 2969-2974 (2002)

33. Morikawa, A.; Iyoku, Y.; Kakimoto, M. A.; Imai, Y. Polymer Journal, Vol. 24, No. 1, pp. 107-113 (1992)

34. Liu, S. L.; Chung, T. S.; Oikawa, H.; Yamaguchi, A. Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics, Vol. 38, 3018-3031 (2000)

35. Liu, S. L.; Chung, T. S.; Lu, L.; Torii, Y.; Oikawa, H.; Yamaguchi, A. Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics, Vol. 36, 1679-1694 (1998)

36. Pramoda, K. P.; Chung, T. S.; Liu, S. L.; Oikawa, H.; Yamaguchi, A. Polymer Degration and Stability 67, 365-374 (2000)

37. Tamai, S.; Oikawa, H.; Ohta, M.; Yamaguchi, A. Polymer, Vol. 39, No. 10, pp. 1945-1949 (1998)

38. Wu, K. H.; Chang, T. C.; Yang, J. C.; Chen, H. B. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 79, 965-973 (2001)

39. Asanuma, T.; Oikawa, H.; Ookawa, Y.; Yamasita, W.; Matsuo, M.; Yamaguchi, A. Journal of Polymer Science: Part A: Polymer Chemistry, Vol. 32, 2111-2118 (1994)

40. Zhi, J.; Zhang, B.; Wu, Y.; Feng, Z. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 81, 2210-2218 (2001)

41. Kramarenko, V. Y.; Tetyana, A. S.; Karpova, I. L.; Dragan, K. S.; Privalko, E. G.; Privalko, V. P.; Fragiadakis, D.; Pissis, P. Polym. Adv. Technol., 15, 144-148 (2004)

42. Chen, B. K.; Chiu, T. M.; Tsay, S. Y. Journal of Applied Polymer Science, Vol. 94, 382-393 (2004)

43. Kioul, A.; Mascia, L. Journal of Non-Crystalline Solids, 175, 169-186 (1994)

44. Mascia, L.; Kioul, A. Polymer, Vol. 36, No. 19, pp. 3649-3659 (1995)

7.2 電子月刊及其它參考資料

45. 官振豐1 , 2、馬振基2*、官旭強2 , 奈米聚烯烴 ( Polyolefin ) 複合材料在包裝領域之應用及其加工特性 ( Rheology ) , 塑膠工業技術發展中心1 , 國立清華大學2

46. 林鴻志 , 〝 深次微米閘極技術之發展與未來趨勢 ( I ) 〞 , 奈米通訊 , 第五卷 , 第二期

47. 林鴻志 , 〝 深次微米閘極技術之發展與未來趨勢 ( II ) 〞 , 奈米通訊 , 第五卷 , 第三期

48. 林鴻志 , 〝 深次微米閘極技術之發展與未來趨勢 ( III ) 〞 , 奈米通訊 , 第五卷 , 第四期

49. 張鼎張、劉伯村 , 〝 NDL在無機類低介電常數材質的研發簡介 〞 , 奈米通訊 , 第五卷 , 第四期

50. 廖明吉 , 〝 0.1微米世代的微影解決方法 〞 , 奈米通訊 , 第五卷 , 第四期

51. 胡淑芬 , 〝 向奈米製作技術挑戰 - 單電子元件 〞 , 奈米通訊 , 第六卷 , 第一期

52. 張鼎張、周美芬 , 〝 有機高分子低介電材料簡介 〞 , 奈米通訊 , 第六卷 , 第一期

53. 楊正杰、張鼎張、鄭晃忠 , 〝 銅金屬與低介電常數材料與製程 〞 , 奈米通訊 , 第七卷 , 第四期

54. 謝嘉民、劉志宏、孫旭昌、魏大欽、戴寶通 , 〝 低介電常數材料FLARETM2.0熱穩定性及基本特性之研究 〞 , 奈米通訊 , 第七卷 , 第一期

55. 劉繼文、賴明志、戴寶通 , 〝 低介電常數材料機械性質之研究 〞 , 奈米通訊 , 第七卷 , 第二期

56. 孫旭昌、謝嘉民、蔡明蒔、劉志宏、戴寶通 , 〝 氟化非晶相碳膜製程參數及熱穩定性之研究 〞 , 奈米通訊 , 第七卷 , 第二期

57. 孫旭昌、謝嘉民、蔡明蒔、戴寶通、劉志宏、魏大欽 , 〝 氟化非晶相碳膜製程參數及熱穩定性之研究 (二) 〞 , 奈米通訊 , 第七卷 , 第三期

58. 劉伯村、張鼎張、施敏 , 〝 氨氣電漿氮化處理對低介電常數HSQ薄膜銅導線結構之電特性影響 〞 , 奈米通訊 , 第八卷 , 第一期
59. 孫旭昌、謝嘉民、蔡明蒔、劉志宏、詹森博、戴寶通 , 〝 新式整合有機低介電係數材料之半導體製程 〞 , 奈米通訊 , 第八卷 , 第一期

60. 劉伯村、張鼎張、蔡宗鳴、楊富明、蔡明蒔、曾俊元 , 〝 消除化學機械研磨後低介電材料HSQ薄膜介電特性的損壞 〞 , 奈米通訊 , 第九卷 , 第一期

61. 張鼎張、劉伯村 , 〝 低介電常數材料應用於導體連線製程技術的探討 〞 , 奈米通訊 , 第九卷 , 第二期

62. 莊琇惠、裘性天、萬振宇、王丁勇、簡昭欣 , 〝 含氟非晶性碳膜之研究 〞 , 奈米通訊 , 第九卷 , 第三期

63. 卓恩宗、菜增光、吳柏偉、潘扶民 , 〝 規則性奈米孔洞超低介電常數二氧化矽薄膜之製備 〞 , 奈米通訊 , 第九卷 , 第三期

64. 卓恩宗、菜增光、楊家銘、吳柏偉、潘扶民、趙桂蓉 , 〝 奈米孔洞二氧化矽超低介電薄膜的電漿鍛燒與改質 〞 , 奈米通訊 , 第九卷 , 第四期

65. 魏大欽、楊忠諺、劉志宏、游清彥 , 〝 比較CF4 / C2H2及CF4 / C2H6電漿製備低介電材料氟化非晶碳膜之研究 〞 , 奈米通訊 , 第九卷 , 第四期

66. 魏大欽、楊忠諺、李益維、巫盛堯 , 〝 多孔性二氧化矽薄膜之電漿處理研究 〞 , 奈米通訊 , 第十卷 , 第一期

67. 陳坤明、黃國威、張俊彥 , 〝 多晶矽鍺電阻之低頻雜訊分析 〞 , 奈米通訊 , 第十卷 , 第二期

68. 彭桂銘、張仲志、程耀毅、劉柏村 , 〝 低介電係數的多孔性矽酸鹽高分子材料之製程及性質研究 〞 , 奈米通訊 , 第十一卷 , 第三期

69. 廖德章、陳文祥、李名洋、林淑玲 , 〝 高性能的工程塑膠 〞 , 科學發展 , 356期 , 2002年8月

70. 許志雄 , 專題報導：陶瓷與人類文明 - 小兵立大功 電子陶瓷 , 科學發展 , 375期 , 2004年3月

71. 鄭國彬教授 , 演講題目： 〝 有機 / 無機高分子複合材料與纖維材料之製造研究 〞 , 國立台北科技大學分子科學與工程系暨有機高分子研究所 ( 2004 )

7.3 碩士論文參考資料

72. 私立中原大學 , 化學系研究所 , 碩士學位論文 , 題目：新型聚醯亞胺 - 二氧化矽混成材料之製備與性質研究 , 研究生：李俊賢 , 指導教授：鄭俊麟 ( 2003 )

73. 國立高雄師範大學 , 化學工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯亞胺樹脂 / 無機奈米複合材料合成與其性質之研究 , 研究生：吳俊賢 , 指導教授：鄭寶樹 ( 2004 )

74. 國立中興大學 , 機械工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：低介電常數材料對二氧化矽覆蓋層化學機械研磨行為之影響 , 研究生：劉興村 , 指導教授：蔡志成 ( 2000 )

75. 國立交通大學 , 電子研究所 , 碩士學位論文 , 題目：應用在超大型積體電路的新低介電常數聚合物之特性研究 , 研究生：張逸鳳 , 指導教授：鄭晃忠 ( 2000 )

76. 國立中山大學 , 物理研究所 , 碩士學位論文 , 題目：多孔性低介電常數材料之整合研究 , 研究生：陳紀文 , 指導教授：張鼎張 ( 2001 )

77. 國立交通大學 , 電子研究所 , 碩士學位論文 , 題目：多孔性極低介電常數材料 ( k≦2.2 ) 之平坦化製程整合研究 , 研究生：曾曉琪 , 指導教授：施敏、張鼎張 ( 2002 )

78. 國立交通大學 , 電子研究所 , 碩士學位論文 , 題目：超低介電常數材料熱傳導係數之研究 , 研究生：楊鎮吉 , 指導教授：催秉鉞 ( 2002 )

79. 國立交通大學 , 機械工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：銅及多孔性低介電常數材料的製程整合研究 , 研究生：一權 , 指導教授：周長彬、吳文發 ( 2002 )

80. 國立中山大學 , 物理研究所 , 碩士學位論文 , 題目：具奈米尺寸多孔二氧化矽極低介電常數材料之研究 , 研究生：蔡鴻明 , 指導教授：張鼎張 ( 2002 )

81. 國立成功大學 , 材料科學及工程學系研究所 , 碩士學位論文 , 題目：積體電路中薄膜材料及其製程知識庫之建立 , 研究生：林怡伶 , 指導教授：黃文星 ( 2003 )

82. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：共聚型聚醯胺醯亞胺之合成與銅箔接著之研究 , 研究生：黃淑惠 , 指導教授：周森 ( 2001 )

83. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚尿素醯亞胺樹脂之合成與銅箔基板接著之應用 , 研究生：陳璁玟 , 指導教授：周森 ( 2002 )

84. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：鏈延長型雙馬來醯亞胺樹脂之合成與銅箔基板接著應用之研究 , 研究生：陳正霖 , 指導教授：周森 ( 2002 )

85. 國立台灣科技大學 , 高分子工程研究所 , 碩士學位論文 , 題目：聚醯胺 - 醯亞胺樹脂合成與其薄膜性質之研究 , 研究生：吳貴慈 , 指導教授：周森 ( 2000 )

86. 國立交通大學 , 應用化學研究所 , 碩士學位論文 , 題目：有機 / 無機多面體矽氧烷寡聚物奈米複合材料 , 研究生：李建裕 , 指導教授：張豐志 ( 2002 )

87. 國立中山大學 , 物理研究所 , 碩士學位論文 , 題目：低介電常數材料氫矽酸鹽類於製程整合上的應用 , 研究生：魏易玄 , 指導教授：王東波、張鼎張 ( 2002 )

7.4 書籍參考資料

88. 林敬二、林宗義 , 儀器分析 ( 第四版 ) , 美亞書版股份有限公司 ( 1994 )

89. D. Wilson , H. D. Stenzenberger , P. M. Hergenrother. , Polyimides , Glasgow：Blackie；New York：Chapman and Hall ( 1990 )

90. 編審委員：田福助、林志誠、邱明申、吳海萍、莊旭程、張玉岑、廖彥智 , 儀器分析 , 全威圖書有限公司 ( 2000 )

91. 王應瓊編著 , 儀器分析 ( 第三版 ) , 中央圖書出版社出版 ( 1993 )

92. 吳昌崙、張景學編著 , 半導體製程技術 ( 第二版 ) , 新文京開發出版股份有限公司 ( 2003 )

7.5 研討會參考資料

93. 呂奇明、黃清茂、韋光華* , 題目：Intercalation Chemistry and Properties of Mica / Polyimide ( BTDA - ODA ) Nanocomposites , 國立交通大學材料科學與工程所

94. 康弘、廖文城、陳觀彬* , 題目：聚醯亞胺與聚矽氧烷多團聯共聚物之合成及其性質研究 , 國立雲林科技大學化學工程所

95. 甘靜宜、林義順、程耀毅* , 題目：應用在先進積體電路低介電係數的高分子絕緣材料之接和強 度 , 國立台北科技大學有機高分子研究所

96. 李文欽、丁清華、許千樹* , 題目：液晶顯示器用聚醯亞胺及液晶高分子之合成 , 國立交通大學應用化學研究所

97. 華沐怡*、陳俊仁 , 題目：可溶性低介電聚矽氧烷 - 醯亞胺類高分子之合成、結構與物性研究 , 私立長庚大學化材系

98. 呂奇明、巫真瑋、韋光華* , 題目：Synthesis and Properties of Covalent - bonded Layered Silicates / Polyimide ( BTDA - ODA ) Nanocomposites , 國立交通大學材料科學與工程所

99. 吳元馮、周森* , 題目：熱可塑型聚醯胺醯亞胺薄膜之合成與銅箔基板之接著應用 , 國立台灣科技大學纖維及高分子系

100. 陳文章教授 , 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 , 題目：聚醯亞胺 - 二氧化矽及聚 醯亞胺 - 二氧化鈦混成薄膜材料之製備 , 國立台灣大學化學工程學系

101. 劉韋志、陳文章* , 題目：Synthesis and Characterization of Low Dielectric Constant Nanoporous Silica From HSQ , 國立台灣大學化學工程學系

102. 劉韋志、劉振良、蔡馥娟、陳文章* , 題目：低介電常數Poly ( silsesquioxanes ) 及其奈米孔洞衍生材料之製備與特性分析 , 國立台灣大學化學工程學系與高分子科學與工程學研究所

103. 陳建汎、許子建* , 題目：Synthesis and Characterization of a Novel Polyimide Containing a Benzobisthiazole Derived Chromophore , 國立中山大學材料科學與工程系

104. 陳觀彬、廖文城* , 題目：利用聚矽氧烷改質聚醯亞胺之合成物性與微結構分析研究 , 國立雲林科技大學化學工程學系

105. 徐毓賢a、王立義b , c*、鄭俊麟a* , 題目：Preparation and Properties of Novel Polyimide - Silica Hybrid Material , a私立中原大學化學工程研究所、b國立台灣大學凝態科學研究中心、c國立台灣大學高分子科學與工程學研究所

106. 趙宗怡1、張惠玲2*、鄭如忠1* , 題目：由聚醯亞胺製備之有機 - 無機半網狀互穿二次非線性光學材料 , 1國立中興大學化學工程學系、2國立勤益技術學院化學工程學系

107. 張仲志、彭桂銘、程耀毅* , 題目：氨氣處理對多孔性低介電係數矽酸鹽材料之電性與機械性質的影響 , 國立台北科技大學有機高分子研究所

108. 陳伯寬*1、菜三元1、邱致銘2 , 題目：可溶性聚醯亞胺 / 二氧化矽奈米複合材料之合成與性質研究 , 1崑山科技大學應用纖維系、2國立成功大學化學工程學系

109. 張民慧、周森* , 題目：聚醯胺醯亞胺之合成與銅箔基板性質之研究 , 國立台灣科技大學高分子工程所

110. 黃啟華、周森* , 題目：聚尿素醯胺醯亞胺薄膜與銅箔複合材料之研究 , 國立台灣科技大學高分子工程所

111. 鍾易容、黃盟舜、周森* , 題目：聚尿素醯亞胺之合成及其銅箔複合材料之研究 , 國立台灣科技大學高分子工程所

112. 張孟浩、張德洲* , 題目：含氟聚醯胺 - 醯亞胺與聚醯亞胺之合成與性質之研究II , 私立中原大學化學工程學系

113. 楊凱智、林慶炫* , 題目：Synthesis and Properties of Novel Sulfonated Polyimides , 國立中興大學化學工程系

114. 趙俊凱、廖文城、陳觀彬* , 題目：含可交聯聚二甲基矽氧烷 - 聚醯亞胺共聚物的製備研究 , 國立雲林科技大學化學工程所

115. 張雍、李佳樺、陳文章* , 題目：由Poly ( silsesquioxanes )及雙親性嵌段共聚物或有機非溶劑製備低介電常數奈米孔洞薄膜 , 國立台灣大學化學工程系

116. 陳世信、王錫福、王玉瑞* , 題目：聚醯亞胺 / 陶瓷複合薄膜之製備及其性質之研究 , 國立台北科技大學奈米光電磁材料技術研發中心

117. 何宗育、范雁榕、李俊毅* , 題目：Synthesis preparation and Characterization of Main Chain Type Thermotropic Liquid Crystalline Polyimide / SiO2 Nanocomposites , 國立台灣科技大學高分子工程所

118. 莊坤璋、程耀毅* , 題目：聚醯亞胺 / 二氧化矽複合材料之合成與性質研究 , 國立台北科技大學有機高分子研究所

119. 陳志賢1、鄭俊麟1*、王立義2 , 3* , 題目：聚醯亞胺 / 二氧化矽混成材料之合成與熱性質研究 , 1私立中原大學化學工程系、2國立台灣大學高分子科學與工程學研究所、3國立台灣大學凝態研究中心

120. 張豐志教授 , 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 , 題目：多面體聚矽氧烷改質高分子材料之合成與鑑定 , 國立交通大學應用化學研究所

121. 陳燿騰教授 , 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 , 題目：非常高Tg之低介電材料開發研究 , 國立台灣科技大學化學工程系

122. 廖文城教授 , 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 , 題目：含奈米填充粒子的聚醯亞胺 - 金屬氧化物混成材料開發研究 , 國立雲林科技大學化學工程系

7.6 網頁參考資料

123. DIELECTRIC CONSTANT REFERENCE GUIDE 介電常數參考表 , 資料來源：http://zhangzc.jahee.com