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摘要 本實驗使用反應式離子束濺鍍法來沉積氧化銦錫薄膜於玻璃基板上，在室溫狀態下，分別透過改變氧氣流量、陽極電壓以及基板與靶材距離，來觀察不同製程參數下薄膜特性的變化。隨著氧氣流量增加，氧氣的低濺…
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本論文使用分子動力學模擬(molecular Dynamics, MD)模擬原子鎢/鎳濺鍍在銅基材，探討薄膜的成長機制與成長形貌，並且使用粗糙度及覆蓋率來評估薄膜品質，而模擬的濺鍍製程參數包括基材的…
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本研究以磁控濺鍍之方式，製作氧化白金(Oxide Platinum)、純白金(Pure Platinum) 以及共濺鍍Pt + YSZ 等三種不同電極於多孔性陽極氧化鋁(anodic aluminu…
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近年來，由於能源的危機，大家紛紛投入太陽能電池的研究與發展。目前化合物薄膜太陽能電池以銅銦鎵硒為主，但由於成本高昂，故無法普及化，因此需要新的材料來控制成本，因而發展出硫化銅錫鋅與硒化銅錫鋅兩種化合…
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使用反應式離子束濺鍍法成長氧化鋅鎂薄膜已成功的被製作。本論文將使用反應氣體氧氣參與離子束濺鍍Mg0.1Zn0.9金屬靶材，以（111）矽基板溫度360、400及500℃成長氧化鋅鎂薄膜MgxZn1-…
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近年來，有越來越多人開始投入太陽能電池的研究，因此技術進步的很快，目前研究雖然都有不錯的轉換效率，但由於成本高昂，故一直無法普及，因此找尋新的材料來壓低太陽能電池成本是必需的，然而在各種新材料被研究…
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由於能源危機的出現，使得再生能源備受全世界矚目。其中太陽能電池為最具有潛力能取代石化燃料的絕佳選擇之一。在此領域裡，硒化銅銦鎵薄膜太陽能電池已經被研究並使用一段時間了。然而，稀有元素銦和鎵的使用，造…
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生，而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度，且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化，進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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本文是以反應性離子束濺鍍法成長氧化鋅薄膜，嘗試在兩種不同反應濺鍍環境:一是“氧氣直接通入腔體”；另一是“氧及氬氣同時通入離子槍”作反應性濺鍍，並探討通入氧流量的多寡對薄膜性質、光學、結構的影響。在未…
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本篇論文研究以Al作為上下電極，使用ZrO2以及NiO作為主要之中間層，製備 電阻式記憶體元件，並透過調節ZrO2與NiO之比例以及鍍膜時氧氣之通量來改善元 件之性質。 當元件之介電層使用ZrO2時…