檢索結果：共3筆資料 檢索策略： ckeyword.raw="共路徑"
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本研究提出一套「雙自由度共路徑式散斑干涉儀」，此套系統以氦氖雷射(Laser)、偏振片(P)、電光調制器(EOM)、平行分束器(BD)、沃拉斯頓稜鏡(WP)、圓柱透鏡(CL)及光感測器(PD)等光學…
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本研究以光柵干涉術作為主要的量測基礎，提出了一套新式的微型化雙繞射共路徑式線性光學尺，其系統架構簡單，架設及校正容易，可用以進行精密的大行程位移量測。我們利用自行設計的稜鏡配合反射式光柵建構出「共路…
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近年來各類型的雷射干涉儀已被廣泛地應用在眾多的科學研究及工程領域中，藉由提供精準的位移或旋轉角度的量測資訊使定位系統或載具能維持高精度的定位性能，以期能準確完成製造程序、元件對位、幾何誤差量測與系統…