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| 研究生： |
黃香玫 Xiang-Mei Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
六氟化鎢在複晶鎢表面的熱分解 Thermal decomposition of WF₆ on polycrystalline tungsten |
| 指導教授： |
李嘉平
Chia-Pyng Lee |
| 口試委員: | none |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工程學院 - 化學工程系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 80 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 103 |
| 中文關鍵詞： | 六氟化鎢 、複晶鎢表面 、熱分解 、質譜儀 、超高真空系統 、脫附狀態 |
| 相關次數： | 點閱：177 下載：0 |
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本論文是設置一個配備有質譜儀的超高真空系統, 利用TPR 方法(Temperature Progr-ammed Reaction)研究六氟化鎢在復晶鎢上脫附情形及反應機構。
由我們的系統所做得的H 在復晶鎢上之TPD 結果與以往學者所得的結果相似, 證實我們設置的系統正確無誤。
氫在復晶鎢上之TPD 圖譜結果為,H 有一個r peak, 數個α peak 及數個β peak(至少三個) 。各脫附狀態是, γ為物理吸附, α為較弱的化學吸附, β為較強的化學吸附(β : 二階脫附; β :一階段脫附, Tp=401°K,E=22.65Kcal/mole) 。
六氟化鎢在復晶鎢表面的TPR 結果顯示, 其在復晶鎢上的吸附狀態有兩種, 一為分子態化學吸附; 另一吸附狀態鍵結較強, 但吸附量不多, 并有部份熱分解現象。熱分解方程式如下:
WF ←W +3F
其反應速率決定步驟為表面熱分解反應, 而熱分解反應活化能Ea=61.24 Kcal/mole。
none
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