研究生: |
黃香玫 Xiang-Mei Huang |
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論文名稱: |
六氟化鎢在複晶鎢表面的熱分解 Thermal decomposition of WF₆ on polycrystalline tungsten |
指導教授: |
李嘉平
Chia-Pyng Lee |
口試委員: | none |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工程學院 - 化學工程系 Department of Chemical Engineering |
論文出版年: | 2021 |
畢業學年度: | 80 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 103 |
中文關鍵詞: | 六氟化鎢 、複晶鎢表面 、熱分解 、質譜儀 、超高真空系統 、脫附狀態 |
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本論文是設置一個配備有質譜儀的超高真空系統, 利用TPR 方法(Temperature Progr-ammed Reaction)研究六氟化鎢在復晶鎢上脫附情形及反應機構。
由我們的系統所做得的H 在復晶鎢上之TPD 結果與以往學者所得的結果相似, 證實我們設置的系統正確無誤。
氫在復晶鎢上之TPD 圖譜結果為,H 有一個r peak, 數個α peak 及數個β peak(至少三個) 。各脫附狀態是, γ為物理吸附, α為較弱的化學吸附, β為較強的化學吸附(β : 二階脫附; β :一階段脫附, Tp=401°K,E=22.65Kcal/mole) 。
六氟化鎢在復晶鎢表面的TPR 結果顯示, 其在復晶鎢上的吸附狀態有兩種, 一為分子態化學吸附; 另一吸附狀態鍵結較強, 但吸附量不多, 并有部份熱分解現象。熱分解方程式如下:
WF ←W +3F
其反應速率決定步驟為表面熱分解反應, 而熱分解反應活化能Ea=61.24 Kcal/mole。
none