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研究生: 黃香玫
Xiang-Mei Huang
論文名稱: 六氟化鎢在複晶鎢表面的熱分解
Thermal decomposition of WF₆ on polycrystalline tungsten
指導教授: 李嘉平
Chia-Pyng Lee
口試委員: none
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工程學院 - 化學工程系
Department of Chemical Engineering
論文出版年: 2021
畢業學年度: 80
語文別: 中文
論文頁數: 103
中文關鍵詞: 六氟化鎢複晶鎢表面熱分解質譜儀超高真空系統脫附狀態
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  • 本論文是設置一個配備有質譜儀的超高真空系統, 利用TPR 方法(Temperature Progr-ammed Reaction)研究六氟化鎢在復晶鎢上脫附情形及反應機構。

    由我們的系統所做得的H 在復晶鎢上之TPD 結果與以往學者所得的結果相似, 證實我們設置的系統正確無誤。

    氫在復晶鎢上之TPD 圖譜結果為,H 有一個r peak, 數個α peak 及數個β peak(至少三個) 。各脫附狀態是, γ為物理吸附, α為較弱的化學吸附, β為較強的化學吸附(β : 二階脫附; β :一階段脫附, Tp=401°K,E=22.65Kcal/mole) 。

    六氟化鎢在復晶鎢表面的TPR 結果顯示, 其在復晶鎢上的吸附狀態有兩種, 一為分子態化學吸附; 另一吸附狀態鍵結較強, 但吸附量不多, 并有部份熱分解現象。熱分解方程式如下:

    WF ←W +3F

    其反應速率決定步驟為表面熱分解反應, 而熱分解反應活化能Ea=61.24 Kcal/mole。


    none

    none

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