檢索結果：共28筆資料 檢索策略： "magnetron sputtering".ekeyword (精準)
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本實驗利用射頻磁控濺鍍法於低溫下成長具半導體特性之非晶質奈米碳棒，其形貌不同於一般使用濺鍍法成長之薄膜。本實驗從兩方面來對成長奈米碳棒做探討，首先，我們於不同溫度下成長奈米碳棒，並觀察其表面形貌及結…
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本實驗為利用射頻磁控濺鍍法沉積鋅薄膜，藉由調變射頻功率及靶材至基板的距離可控制鋅薄膜的結晶及表面型貌。實驗結果顯示多晶鋅薄膜在經450 ℃熱氧化可成長較多垂直於基板的氧化鋅奈米線，其平均長度約為4 …
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本研究選擇含鋯銅鋁鎳組成之金屬玻璃作為光熱轉換材料。濾紙基材為水通道載體，在上方以不同射頻磁控濺鍍時間（1、3、5小時）做出鍍有金屬玻璃的 fp1、fp3、fp5樣品。開發漂浮型太陽…
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使用射頻磁控反應式濺鍍法製備異質奈米材料於SA(100)、SA(012) 、LTO(012)基板上。本實驗分為二部份，一為先行沉積金紅石結構二氧化鈦於以上各種基板上，探討金紅石結構二氧化鈦奈米柱形貌…
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近年來生醫金屬植入材常使用鐵、鈦、與鈷系合金材料為大宗，因其具有高硬度、高彈性模數等物理性質，同時具備生物惰性之優勢。然而，當此類金屬材料植入體內後，容易在界面處誘發炎症因子，進而引發異物反應和排斥…
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本論文主要利用反應式射頻磁控濺鍍法製備奈米材料來研究二氧化釕(Ruthenium dioxide，RuO2)/石墨烯(Graphene)奈米複合結構，觀察其表面、分析其成長優選方向及結構特性。 利用…
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近年來金屬植入物逐漸成為骨骼受損時用以代替骨骼的治療方案，在金屬材料鍍上具有生物活性的材料，使植入物擁有良好的機械性質及生物相容性，減少植入後的異物反應與副作用。目前擁有很多種方法製備薄膜，使用磁控…
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本研究主要是探討以射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputtering)之系統，搭配由附有析出奈米銀顆粒之奈米二氧化鈦粉體所自行製備之陶金靶材，於無加熱的基板上，以80 W功率濺鍍60分鐘，…
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本研究利用反應式磁控濺鍍(Magnetron sputtering)系統配合高真空下的熱退火製程，成功製備出含有不同氮、氧濃度之氮氧化矽(SiOxNy)單層薄膜以及氮氧化矽/矽(SiON/Si)之多…