檢索結果:共96筆資料 檢索策略: "化學氣相沈積".ckeyword (精準)
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本論文主要是研究先以Cu(hfac)2.H2O為先驅物並外加水來沈積氧化亞銅(Cu2O)薄膜之後,再利用乙醇將Cu2O薄膜還原成Cu薄膜的二階段化學氣相沈積成長方式之第二階段乙醇還原的過程。 首先我…
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本研究以有機金屬化合物(hfac)CuI(COD)為先驅物的化學氣相沈積系統探討金屬銅薄膜的成長動力及其材料分析。我們將探討沈積溫度及銅先驅物分壓對反應速率的影響。經由數據分析,探討反應機構及動力模…
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本篇論文主要研究方向在使用以醋酸鋅為蒸發源的化學氣相沉積法製作氧化鋅薄膜。以不同的氣體當載氣(氧氣和氬氣)和控制不同成長溫度來製造氧化鋅薄膜於矽基板上。薄膜分析以掃描電子顯微鏡、X光繞射譜線、拉曼散…
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利用銅箔以化學氣相沉積的方法成長石墨烯,利用濕式轉移方式將石墨烯轉移至平面矽基板、金字塔結構矽基板以及矽奈米線基板上。在平面矽基板上轉移不同層數石墨烯場發射。量測不同層數石墨烯的功函數。石墨烯的邊緣…
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In this research, we analyze the epitaxial growth of SnO2 nanowires on the gold-seeded sapphire SA …
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本研究之目的為合成CuII(OCHMeCH2NEt2)2先驅物,並且利用此先驅物以化學氣相沈積的方法成長銅薄膜,藉由調整沈積溫度及沈積時間,探討成長出高純度且具有良好之平坦度、緻密性、連續性及低電阻…
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奈米碳管具有優異的機械、電性、光學和化學等特殊性質特性,在目前的材料研究領域上站有重要的地位。以目前的商業生產技術,主要包括了雷射蒸發法(laser vaporization)以及化學氣相沉積法(c…
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奈米碳管 ( Carbon nanotubes, CNTs ) 已經是奈米科技中的一項重要材料,其具有質量輕、高強度、高韌性、可撓曲、高表面積、表面曲度大、高熱導度、導電性特異等特性,除於儲氫材料的…
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本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法,探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先,單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下,會成長出以碳化鋁(…
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本論文使用兩種不同的二維材料之過渡金屬硫屬化合物MoS2與WSe2做異質接面的結合並進行探討其接面特性. 本論文以熱化學氣相沉積法方式, 利用固定比例的三氧化鎢與硒粉末, 三氧化鉬與硫粉末成長WSe…