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  • 檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "directed self-assembly".ekeyword (精準)


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    針對定向自組裝微影技術的引導樣板最佳化與冗餘導通孔嵌入
    • 電機工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 呂宜臻   指導教授： 方劭云
    • 在現代的科技蓬勃發展下，半導體製造進入了次10 奈米的技術節點，關鍵尺寸的微小化使得下一世代微影技術被迫切地需要，其中，團鏈共聚物定向自組裝微影技術已經證明其用於製作導通孔的可能性。除此之外，後佈局…
    • 點閱：242  下載：6 

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    於定向自組裝多圖案混合式微影中使用多 種嵌段共聚物材質之導引樣板設計技術
    • 電機工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 吳國豪   指導教授： 方劭云
    • 定向自組裝多圖案混合式微影(directed selfassembly technology with multiple patterning lithography)非常適用於製造 10 奈米以下…
    • 點閱：253  下載：1 

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    具有多行樣板的層狀定向自組裝模板 設計和佈局分解
    • 電機工程系 /111/ 碩士
    • 研究生： 蔡昀娜   指導教授： 方劭云
    • 點閱：202  下載：0 
    • 全文公開日期 2025/01/03 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/01/03 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/01/03 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    針對定向自組裝技術考慮導引樣板和冗餘導通孔插入之細部繞線
    • 電機工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 林昆霖   指導教授： 方劭云
    • 定向自組裝 (directed self-assembly technology) 的技術在10 奈米以 下的導通孔 (contact/via) 的製造上展現了其優勢，為了讓導通孔有 足夠的重疊精度…
    • 點閱：410  下載：4 

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    針對片狀自組裝技術使用多圖案微影與自對齊導通孔製程之導引模板設計
    • 電機工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 石安傑   指導教授： 方劭云
    • 使用嵌段共聚物(block copolymers, BCP)的定向組裝技術 (Directed self-assembly, DSA)已經是一項具有發展性的光刻技術，可以在集成電路上生成微小的圖像。…
    • 點閱：337  下載：0 
    • 全文公開日期 2025/07/20 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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