檢索結果：共26筆資料 檢索策略： "Ju-Yi Lee".ecommittee (精準)
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本文提出一套利用疊紋法量測藍寶石晶圓翹曲量的偵測技術，其系統架構簡單且架設容易。此系統由一發光二極管光源(LED)、一線性光柵片、一電荷耦合元件(CCD) 攝影機及數個光學元件所組成。藉由疊紋法的技…
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本研究提出一套以「循環式光路」做為技術核心的新式雷射光學尺量測技術，用以進行精密位移及角位移量測。此套創新的「循環式雷射光學尺」導入了「薩格納克循環式光路」、「雙繞射式光路」及「多自由度光路」等設計…
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本論文提出一套創新的波長調制外差光柵干涉儀，用以進行六自由度位移及角位移量測。此套干涉儀系統具備外差干涉術、麥克森干涉術，以及光柵干涉術的優點。 我們藉由調整雷射二極體的輸入電流來調製其輸出波長，…
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近年來，精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升，透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正，以維持高製造精度。然而，大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套可用以進行五自由度位移及旋轉角度量測的「準共光程式散斑干涉儀」。此套「準共光程式散斑干涉儀」透過電光調制器來進行外差光源調制，用以降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響，同時亦能提高系…
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近年來自動化設備開始導入生產線系統，物料的供給或搬運，決定工廠的生產效率，無人搬運車(Autonomous Guided Vehicle, AGV)系統，應用雷射光學雷達(Light Dection…
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本研究提出一套創新的四自由度共路徑式線性光學尺，具備同時量測面內或面外的位移及旋轉角量測能力。此套線性光學尺結合干涉術、光柵干涉術、分光技術及共路徑式光路等技術優勢進行系統開發，具備高靈敏度、高穩定…
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本研究提出一套創新的弦波調制雙繞射光柵干涉儀，用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀是以弦波訊號來針對WP雙折射晶體進行訊號調制，達到外差訊號調制的目的，進而降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術，其系統架構簡單，架設與校正容易，可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心，輔以外差調制技術及自行設計…