檢索結果：共102筆資料 檢索策略： "郭永麟".ccommittee (精準)
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印刷電路板（Printed Circuit Board, PCB）在所有的電子產品中用來將所有功能不同的積體電路及電子元件以一條條細細的銅導線連接起來，以提供穩定的工作環境，讓電子訊號可以在不同的電…
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由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難，無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產，因此吸引許多研究者尋找改善方案，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
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本研究設計與實現了一類史都華平台，並採用三菱可程式邏輯控制器(Programmable Logic Controller, PLC)的IEC 61131-3國際標準編程語言設計程序，達成史都華平台的…
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鑽削加工是目前製造業中最常見到的金屬切削製程之一，在需要高精密度且 大量鑽孔需求的應用中(如印刷電路板製作以及飛機組裝加工過程)，若是使用人 力進行鑽孔作業很容易造成加工品質的不穩定，同時難以勝任大…
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水氣量測對於現代工廠的設備儀器是需要被注意的，在無法得知儀器中濕度變化的情況下，可能會因為濕度的高低變化，使得儀器零件因此故障，所以需要準確的露點感測器來做量測。本研究目的為建構電容式聚合物露點計自…
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在半導體奈米量測自動化設備中，光學散射量測儀被視為取代傳統電子顯微鏡擷取微影圖案關鍵尺寸的重要技術，光學散射量測法的優點包含：量測速度快約為現有電子顯微鏡的三倍，可重複性量測同一微影圖案之關鍵尺寸，…
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設備使用問題案例分析，作為設備生產依據，是全面品質管理的基本精神，也是設備製造者獲利的關鍵之一。 透過系統思維是破除「見樹不見林」的觀點，全面性考量問題關鍵因素因果關係。本研究案例藉由根本原因分析(…
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As semiconductor especially IC industries continue to push to smaller device (smaller feature size)…
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本研究主要為將徑向基函數網路(radial basis function networks, RBFN)應用於同調傅立葉散射儀(coherent Fourier scatterometry, CFS…
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基於Lorenz系統，Stenflo通過使用低頻近似短波長研究大氣波動方程，衍生而出的Lorenz-Stenflo模型，在考慮此系統之各種物理特性下，嘗試變動原動態方程組，命名為新四維度Lorenz…