檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "林建憲".ccommittee (精準)
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由於極紫外光微影系統技術尚未廣泛應用，目前生產線上仍大部分為ArF-193nm浸潤式微影系統，因此有許多研究者尋找此系統優化方法，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應的最佳光源模…
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受惠於第五代行動通訊技術(5th generation mobile networks,5G)的快速發展，帶動印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)產品中的軟板(Flex…
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在現代工業中，旋轉機械是提供工廠穩定動力的來源之一，而其設備的穩定性是影響工廠生產及機器稼動率的重要因素。機械振動可能造成主軸偏心或軸承損壞，進而導致設備故障停機。近年來，深度學習模型被用來進行故障…
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追求零缺陷是製造業品質檢測(TQC)最終的目標，為此發展AI技術與傳統AOI檢測的結合是目前產業發展的趨勢。本研究的目的為發展基於機器學習的瑕疵檢測並應用在積層製造物件上，首先自行建立瑕疵影像數據庫…
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在線路圖案的定義過程，無論是使用什麼型態的曝光系統，對準量測技術皆為關鍵的製程步驟，在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率，進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中，發現使用數位…
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在半導體產業中，晶圓於化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Polishing /Planarization, CMP)過程中，下壓力變化可能會產生如表面刮傷、翹曲及腐蝕等缺…
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化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization, CMP)目前已被廣泛應用於IC產業中，隨著近年來半導體線寬不斷縮減，CMP製程之穩定性與重現性不斷面臨挑戰。而在…
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單晶藍寶石(Sapphire)是一種高透光性、耐高溫且高硬度的化合物半導體材料，然而也因單晶藍寶石之高硬度和化學穩定性，目前此類晶圓基板的生產大多以鑽石線鋸(Diamond Wire Sawing,…