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  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "多圖案微影".ckeyword (精準)


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    考慮混合多重圖案微影技術的 擷取光罩最佳化
    • 電機工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 張尹律   指導教授： 方劭云　
    • 由於下個世代的微影技術發展嚴重落後，多重圖案微影技術被視為最有展望能突破20 奈米限制的技術。自動對準多圖案微影技術(self-aligned multiple patterning)透過間隙壁(s…
    • 點閱：201  下載：27 

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    於定向自組裝多圖案混合式微影中使用多 種嵌段共聚物材質之導引樣板設計技術
    • 電機工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 吳國豪   指導教授： 方劭云
    • 定向自組裝多圖案混合式微影(directed selfassembly technology with multiple patterning lithography)非常適用於製造 10 奈米以下…
    • 點閱：253  下載：1 

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    針對片狀自組裝技術使用多圖案微影與自對齊導通孔製程之導引模板設計
    • 電機工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 石安傑   指導教授： 方劭云
    • 使用嵌段共聚物(block copolymers, BCP)的定向組裝技術 (Directed self-assembly, DSA)已經是一項具有發展性的光刻技術，可以在集成電路上生成微小的圖像。…
    • 點閱：337  下載：0 
    • 全文公開日期 2025/07/20 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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