檢索結果:共5筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="外差"
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本研究提出一套創新的雙自由度外差式雷射散斑干涉儀,此套干涉儀系統結合外差和散斑干涉術之優點,具備高的靈敏度和解析度及大量測範圍等量測性能。 此套雙自由度外差式雷射散斑干涉儀藉由光柵來實踐對稱式的光路…
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本研究提出一套多自由度複合式散斑干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差干涉術和散斑干涉術之優點,並透過分光技術建立一套可以進行精密位移及旋轉角量測的架構,同時具備高解析度、非接…
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本研究提出一套創新的六自由度外差式散斑干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套外差式散斑干涉儀系統結合外差干涉術、散斑干涉術、對稱式光路和分光技術等技術之優勢,具備高解析度、大量測範圍及六自由度…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…
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本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀,用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術,具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…