檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="半導體設備通訊標準(SECS) "
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本研究旨在探討晶圓廠製造晶圓的背後,面對眾多高精密設備、精細生產配方、量測配方以及大量多元的資料收集、分析及判讀,這些工作已不再能依賴大量人力記憶生產規範及紀錄資訊,持續穩定地進行生產。特別是在發現…