檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="位移" and ckeyword.raw="雙繞射"
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺,用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發,使系統具…
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本研究以光柵干涉術作為主要的量測基礎,提出了一套新式的微型化雙繞射共路徑式線性光學尺,其系統架構簡單,架設及校正容易,可用以進行精密的大行程位移量測。我們利用自行設計的稜鏡配合反射式光柵建構出「共路…