檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="薄膜成長"
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本研究建立以氬電漿餘輝態進行矽薄膜沉積之反應機制並進行二維沉積反應之穩態數值模擬,以計算低壓腔體內部矽薄膜成長速率。本研究共考慮17個重要物種,包含電子、質子、自由基氣體、中性氣體等,除求解流場之連…