檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="定向自組裝" and ckeyword.raw="定向自組裝" and ckeyword.raw="微影技術"
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在現代的科技蓬勃發展下,半導體製造進入了次10 奈米的技術節點,關鍵尺寸的微小化使得下一世代微影技術被迫切地需要,其中,團鏈共聚物定向自組裝微影技術已經證明其用於製作導通孔的可能性。除此之外,後佈局…