檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="多圖案微影" and ckeyword.raw="導向模板" and ckeyword.raw="層狀DSA"
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使用嵌段共聚物(block copolymers, BCP)的定向組裝技術 (Directed self-assembly, DSA)已經是一項具有發展性的光刻技術,可以在集成電路上生成微小的圖像。…