半導體產業對於台灣一直具有舉足輕重的地位，伴隨而來是大量的污染問題，而空污過濾產隨之開始發展，其中最為普遍的即是配合半導體廠房設計廢氣蒐集管線，最後匯集統一處理的洗滌塔空污處理系統。
本研究透過與洗滌塔產業的專家訪談，得知目前洗滌塔工程主要的問題為與半導體廠房內其他管線整合不易，需要經過多次套繪與其他廠商配合，設計起來十分耗時，以及設備的耗材以及零件由於長時間過濾廢氣需要定期維修汰換，維修紀錄信息量龐大，不易進行系統化的管理，因此本研究針對此問題，結合建築資訊模型（Building Information Modeling,BIM）的優勢，將洗滌塔系統利用Revit進行建模，設計蒐集廢氣之管路將其與廠房的建築結構及機電系統進行整合，並且建立實際案例的模型，對比2D與3D的差別及分析BIM帶來的益處，最後利用C#語言撰寫Revit API，開發能將維修系統直接登錄於模型內的功能，直接連結該零件之名稱及樓層進行輸入，加上BIM視覺化的特性，降低人工疏失的機率，並能直接透過Excel輸出，將維修信息列表化。

The semiconductor industry has always played a pivotal role in Taiwan, accompanied by a large number of pollution problems, and air pollution filtration production has begun to develop, the most common of which is to cooperate with the semiconductor plant design exhaust gas collection pipeline, and finally put together the unified treatment of scrubber air pollution treatment system.
Through the expert interview with the scrubber industry, this study found that the main problem of the current scrubber project is that it is not easy to integrate with other pipelines in the semiconductor plant. It needs to be coordinated with other manufacturers after many sets of drawings, which is very time-consuming to design and equipment. Consumables and parts need to be repaired and replaced on a regular basis due to long-term filtration of exhaust gas. The amount of maintenance records is huge and it is difficult to systematically manage. Therefore, this study will combine the advantages of Building Information Modeling (BIM) for this problem. The scrubber system uses Revit to model, design the exhaust gas pipeline to integrate it with the building structure and electromechanical system of the plant, and build a model of the actual case, compare the difference between 2D and 3D and analyze the benefits of BIM. Finally Use the C# language to write the Revit API, develop the function that can directly log the maintenance system into the model, directly link the name and floor of the part for input, and add the characteristics of BIM visualization to reduce the chance of manual loss and directly pass through Excel output, list maintenance information.

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