檢索結果:共184筆資料 檢索策略: "plasma".ekeyword (精準)
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本論文之研究目的為利用含胺基之單體(丙胺、丙烯胺、丙炔胺),以連續式與脈衝式電漿製備含胺基高分子薄膜。在連續式電漿聚合方面,探討沉積時間、電漿功率對丙胺、丙烯胺、丙炔胺沉積之薄膜性質影響;在脈衝式電…
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本論文以AZ91鎂合金使用鋁酸鹽基電解液在定電流直流雙極脈衝模式下進行電漿電解氧化實驗。本實驗建立了各項電性參數(包含電流密度J(mA/dm2)[(J+=43.48/ J-=-50.72) (mA/…
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12吋半導體製程中之化學氣相沉積設備反應室內,所需之精密氧化鋁陶瓷,必須具備有高純度、能抵抗電漿環境中的侵蝕性氣體與300mm以上大尺寸物件的特性。所以,胚體成型的技術是一項重要課題,更需要鑽石工具…
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本研究之目的為利用賽吩單體,以連續式電漿聚合方式,製備賽吩薄膜。對於所製備之賽吩薄膜,將探討電漿聚合時間、電漿功率以及碘蒸氣摻雜的時間對於賽吩薄膜性質之影響。 由實驗結果可以發現,賽吩薄膜的沈積速率…
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本論文的研究目的,為利用電漿診斷技術探討調整電漿參數對常壓電漿物理性質之影響,所探討的物理性質包含電子溫度 (electron temperature, Te)、電子密度 (electron den…
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本研究建立非傳輸型井式陰極直流水蒸氣電漿火炬內部反應流場數學模型與數值分析方法。本研究基於二維軸對稱、電漿為電中性、電漿具光學扁薄性以及穩態紊流場條件,以有限體積法聯立求解連續方程式組、電流連續方程…
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本論文主要是來探討原子層級的二硫化鉬薄膜的製備與其應用. 本論文主 要是利用化學氣相沉積法合成原子層級的二硫化鉬薄膜於基板上, 而基板則是 選用藍寶石與石英基板, 待合成完二硫化鉬薄膜後, 利用光…