檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "electrode design".ekeyword (精準)
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半導體製程中昂貴複雜及無可取代之製程-化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Plolishing/Planarization, CMP)，因具可有效地解決銅導線化及特徵尺寸進…
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隨著高階工具機與CAD/CAM技術的蓬勃發展，模具製造的生產效率迅速提升，但模具生產過程中，終究會遇到刀具無法到達的區域，以及精加工後所剩的餘料，通常這些未能加工的地方，或是產品表面有額外精度需求處…
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本論文主要針對壓電陶瓷材料進行能量擷取系統的整合研究與分析，探討單層的壓電陶瓷平板和加強結構剛性與機電耦合效率的多層組合壓電陶瓷雙晶片的差異，並且利用了不同電極切割設計、電極連接方法與極化方向堆疊的…
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本論文主要針對壓電陶瓷材料進行能量擷取系統的整合研究與分析，探討單層的壓電陶瓷平板與串聯型壓電雙晶片以電極切割設計機電耦合效率的的差異，並且利用了不同電極連接方法進行實驗量測與數值計算的比較。爾後，…
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本研究透過交錯式電極最佳化設計，以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…
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本研究探討壓電材料於水聲元件之幫浦結構耦合流體振動並造成流率的量測與分析，幫浦應用四片壓電圓柱薄殼以不同電極設計的模態振形作動推動流體，透過多種實驗量測及數值計算的研究方法得知壓電材料於不同流體時以…