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    電致動力輔助化學機械平坦化應用於奈米雙晶銅圖案化晶圓平坦化研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 鍾誠 指導教授:
    • 本研究透過交錯式電極最佳化設計,以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…
    • 點閱:430下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    電致動力輔助化學機械拋光製程中 有效粒子之動能研究
    • 機械工程系 /110/ 博士
    • 研究生: Mai Phuoc Trai 指導教授:
    • 在半導體積體電路製程中,局部拋光液膜中奈米粒子磨粒之動能在化學機械拋光過程中扮演重要角色。本研究使用電致動力技術 (Electro-Kinetic Force, EKF)配合高精密拋光機,利用電雙層…
    • 點閱:330下載:0
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