檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Wei-Xin Tian".ecommittee (精準)
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本研究為開發一微型過濾晶片,利用掃流式過濾原理,可用於三種不同尺寸範圍的粒子分離,達成細胞分選之目的,使用商用濾膜將其整合於晶片中,此濾膜擁有成本低廉、易於取得的優點,由於本研究使用之晶片由核孔聚碳…
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本研究 之目的 為 研發線上量測軟拋墊之 磨耗率 (Pad Wearing Rate, PWR)與 性能指標應用於化學機械拋光之製程 透過 先前 開 發之動態量測 拋光墊性能指標系統 以 自行研發 …
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單晶碳化矽(SiC)晶圓是眾所矚目的第三代半導體材料之一,其低漏電流特性、較高的熱傳導率、寬能隙(WBG)和耐化學性,廣泛應用於高功率及高電壓能量轉換裝置元件,然而碳化矽的硬度和脆性使其鑽石線鋸切割…