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    富勒烯複合拋光液應用於電致動力輔助銅化學機械拋光研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 邱上峰 指導教授: 陳炤彰
    • 隨著積體電路(Integrated Circuit, IC)迅速發展演進,晶圓上金屬導線之線寬隨科技發展越來越小,在微型化發展過程中,為達金屬導線線寬微小化之目的,則需進行高解析度之微影製程,晶圓表…
    • 點閱:355下載:1

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    電致動力輔助化學機械平坦化應用於奈米雙晶銅圖案化晶圓平坦化研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 鍾誠 指導教授: 陳炤彰 呂立鑫
    • 本研究透過交錯式電極最佳化設計,以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…
    • 點閱:426下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    軟式複合墊3D模型對奈米雙晶銅圖案化晶圓矽導微孔化學機械拋光分析研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 蕭凱翔 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究旨透過整合電腦積層拋光墊形貌模型(Computed Additive Pad Topography, CAPT)建立軟式複合墊3D模型,並藉由3D模型模擬拋光墊Asperity特徵參數,參數包…
    • 點閱:237下載:0
    • 全文公開日期 2026/08/14 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/14 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/14 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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