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  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "電致動力輔助化學機械拋光".ckeyword (精準)


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    富勒烯複合拋光液應用於電致動力輔助銅化學機械拋光研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 邱上峰   指導教授： 陳炤彰
    • 隨著積體電路(Integrated Circuit, IC)迅速發展演進，晶圓上金屬導線之線寬隨科技發展越來越小，在微型化發展過程中，為達金屬導線線寬微小化之目的，則需進行高解析度之微影製程，晶圓表…
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    電致動力輔助化學機械拋光製程中 有效粒子之動能研究
    • 機械工程系 /110/ 博士
    • 研究生： Mai Phuoc Trai   指導教授： 陳炤彰 、 呂立鑫
    • 在半導體積體電路製程中，局部拋光液膜中奈米粒子磨粒之動能在化學機械拋光過程中扮演重要角色。本研究使用電致動力技術 (Electro-Kinetic Force, EKF)配合高精密拋光機，利用電雙層…
    • 點閱：329  下載：0 
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