檢索結果：共31筆資料 檢索策略： "磁控濺鍍".ckeyword (精準)
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本研究主要是探討在室溫下以反應磁控濺鍍系統，先以銀靶材濺鍍找出能形成 Ag 2 O 的最適氬氣/氧氣的流量比後，再利用該最佳濺鍍條件進行由化學合成得到的氧化銀/氧化鋅複合粉體所熱壓的自製靶材來製作氧…
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本實驗利用射頻磁控濺鍍法於低溫下成長具半導體特性之非晶質奈米碳棒，其形貌不同於一般使用濺鍍法成長之薄膜。本實驗從兩方面來對成長奈米碳棒做探討，首先，我們於不同溫度下成長奈米碳棒，並觀察其表面形貌及結…
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本研究選擇含鋯銅鋁鎳組成之金屬玻璃作為光熱轉換材料。濾紙基材為水通道載體，在上方以不同射頻磁控濺鍍時間（1、3、5小時）做出鍍有金屬玻璃的 fp1、fp3、fp5樣品。開發漂浮型太陽…
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近年來生醫金屬植入材常使用鐵、鈦、與鈷系合金材料為大宗，因其具有高硬度、高彈性模數等物理性質，同時具備生物惰性之優勢。然而，當此類金屬材料植入體內後，容易在界面處誘發炎症因子，進而引發異物反應和排斥…
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以RF濺鍍來成長TaNx薄膜並觀察N2/Ar流量比對TaNx薄膜之沈積速率、N/Ta原子比、電阻率及結晶結構之影響。實驗結果顯示TaNx薄膜的沈積速率會隨著N2/Ar流量比的增加而下降；TaNx薄膜…
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本實驗為利用射頻磁控濺鍍法沉積鋅薄膜，藉由調變射頻功率及靶材至基板的距離可控制鋅薄膜的結晶及表面型貌。實驗結果顯示多晶鋅薄膜在經450 ℃熱氧化可成長較多垂直於基板的氧化鋅奈米線，其平均長度約為4 …
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本實驗以熱氧化法成長出摻鈷的氧化鋅奈米線結構，以磁控濺鍍法先沉積純鋅膜與摻鈷的鋅薄膜兩種，實驗結果發現純鋅膜經熱氧化後會形成奈米針結構，而有摻雜鈷的鋅膜在熱氧化後會轉變為奈米線結構，其結構上受到摻雜…
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近年來金屬植入物逐漸成為骨骼受損時用以代替骨骼的治療方案，在金屬材料鍍上具有生物活性的材料，使植入物擁有良好的機械性質及生物相容性，減少植入後的異物反應與副作用。目前擁有很多種方法製備薄膜，使用磁控…
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本研究主要是探討以射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputtering)之系統，搭配由附有析出奈米銀顆粒之奈米二氧化鈦粉體所自行製備之陶金靶材，於無加熱的基板上，以80 W功率濺鍍60分鐘，…