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    1

    考慮研磨液溫度、研磨液體積濃度、研磨顆粒直徑、下壓力及轉速5種參數之化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式及接近實驗值之迴歸模式建立和實驗
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 陳威霖 指導教授: 鄭逸琳 林榮慶
    • 本研究建立不同研磨液溫度,不同研磨液體積濃度及不同研磨液研磨顆粒直徑之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。並且先將矽晶圓浸泡在不同研磨液溫度下的不同體積濃度研磨液後,接著進行原…
    • 點閱:272下載:0
    • 全文公開日期 2025/08/22 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/08/22 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/08/22 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    無花紋研磨墊化學機械拋光不同體積濃度及不同研磨顆粒直徑研磨液之矽晶圓接近實驗之平均每分鐘研磨移除深度理論模擬模式及迴歸模式建立和實驗
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 羅品翔 指導教授: 周育任 林榮慶
    • 本研究先建立不同研磨液體積濃度及不同研磨液研磨顆粒直徑之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們先將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸…
    • 點閱:224下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/31 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/31 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    3

    研磨液體積濃度變化對無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓研磨移除深度之理論模擬模式及迴歸模式分析
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 吳宗儒 指導教授: 林榮慶
    • 本研究先建立室溫下不同體積濃度之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸泡室溫不同體積濃度…
    • 點閱:264下載:0
    • 全文公開日期 2025/08/10 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    4

    TRIZ理論在CMP終點檢測技術發展之應用
    • 自動化及控制研究所 /94/ 碩士
    • 研究生: 劉明曄 指導教授: 蔡明忠
    • 本論文主要是探討如何利用TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving)創造發明的理論,應用在晶圓(WAFER)生產過程中最重要的化學機械研磨(Chemical …
    • 點閱:512下載:4

    5

    乾切削及微量潤滑於研磨加工鋁合金(6061-T6)之溫度建模研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 齊班諾 指導教授: 鍾俊輝
    • 在研磨加工時所產生的熱,會傳遞至工件以及砂輪顆粒上,造成磨粒的磨耗增加,並且會對工件產生表面及次表面的熱破壞等問題,所以本實驗進行加工區域溫度模組的開發,希望使用者可在實驗前,預測其加工時所產生之溫…
    • 點閱:183下載:1

    6

    無花紋研磨墊化學機械拋光不同體積濃度及不同溫度研磨液之矽晶圓研磨移除深度理論模擬模式及迴歸模式分析
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 蔡鴻霖 指導教授: 鄭逸琳 林榮慶
    • 本研究先建立不同研磨液溫度及不同研磨液體積濃度之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們先將矽晶圓浸泡在不同溫度及不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸泡不…
    • 點閱:344下載:0
    • 全文公開日期 2024/07/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/07/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/07/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    7

    高爾夫球桿頭機械手臂全自主研磨系統
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 陳昱廷 指導教授: 林其禹
    • 高爾夫桿頭脫蠟鑄造後的下一道工序就是去除澆道殘餘金屬,並將表面研磨 成光滑面。目前產業界,這項工作都是依靠人力完成。人工進行研磨,除具潛在 人體安全威脅外,人工研磨的精準度和重複性不高,造成…
    • 點閱:131下載:6

    8

    界劑擴散行為之形狀效應暨奈米顏料之研磨與分散
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 陳鴻麟 指導教授: 林析右
    • 第一部份本實驗室利用影像數位化懸掛氣泡表面張力測量儀,量測氣-液界面間的動態與平衡表面張力,再經由平衡表面張力γ(C)計算獲得吸附恆溫線Frumkin isotherm 理論模式之最適化參數,以傳統…
    • 點閱:176下載:5

    9

    整合CMP工程創研知識及商務知識之多層次代理人學習雛型模式之研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 陳奕彰 指導教授: 林榮慶
    • 本研究以人工智慧所提出之記憶學習法為基礎,進而提出以記憶學習法改善多層次代理人系統創研機制。並且以CMP及動力手工具為載具建構出多層次代理人系統工程知識庫及工程專利知識庫學習分類架構,透過學習分類架…
    • 點閱:211下載:6

    10

    雷射加工心血管支架的後處理製程研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 王彗珊 指導教授: 張復瑜
    • 近幾年氣球擴張術和支架放置術已是治療冠狀動脈嚴重阻塞和狹窄的主要方式之一。血管支架放置術為利用心導管將血管支架送入冠狀動脈內,將狹窄或阻塞的部位撐開,以增加冠狀動脈的血流量。316L不鏽鋼為氣球擴張…
    • 點閱:261下載:0
    • 全文公開日期 2021/08/08 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)