檢索結果：共21筆資料 檢索策略： "微影製程".ckeyword (精準)
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在本研究中利用微影製程技術製備出奈米結構光阻在矽晶片上，並使用磁控射頻濺鍍分別濺鍍不同厚度之鋯基金屬玻璃薄膜，探討晶片上之光阻與鍍膜去除光阻後鋯基金屬玻璃之奈米結構之光柵現象與親疏水性質。 …
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摘 要 科技的進步，對環境的汙染日趨嚴重，於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞；而在日常生活中，每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生，因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外，…
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在目前薄膜電晶體液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)產業中，產品已趨輕、薄、短小，然而要朝向這目標，背光模組之導光板…
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厚膜光阻 (Thick-film photoresist)可用於製作高深寬比的結構，普遍廣泛應用於LIGA微機械加工技術，製作MEMS微電機系統元件或微結構等。負型厚膜光阻可應用於積體電路後段IC封…
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氮化鎵是製作發光二極體最主要的材料之一，而氮化鎵的直接能隙(3.4eV)與氮化銦直接能隙(0.7eV)所混合的三元化合物氮化銦鎵(InGaN)可做為發光二極體以及太陽能電池元件。 由於p型氮化鎵之功…
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在記憶體DRAM製造的過程中，透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術，但隨著線寬持續微縮，193nm浸潤式微影製程上達到物理極限，必須透過解析度增強技術(Resolution E…
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糖尿病為一種全球常見的疾病，病徵包含胰島素缺乏與高血糖。糖尿病主要影響身體內器官引起長期損害與功能障礙的現象，並伴隨著許多併發症，如同:心臟病、腎衰竭與失明等。目前最為廣泛發展的電化學葡萄糖生物感測…
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本實驗分為兩個部分，第一部份利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯(…
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中 文 摘 要 近年來由於晶圓代工產品的多樣性及難以避免的待機時間之影響，所衍生之曝光條件的變動頻繁，因而導致半導體晶圓代工廠之微影製程技術，面臨透鏡加熱效應顯著的困擾，造成0.5μm多晶矽閘層的…