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  • 檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "反應式濺鍍".ckeyword (精準)


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    1
    以反應式離子束濺鍍法沉積摻雜鋁氧化鋅薄膜之特性分析
    • 光電工程研究所 /98/ 碩士
    • 研究生： 張婉君   指導教授： 趙良君
    • 本實驗使用反應式離子束濺鍍法在矽(100) 基板上沉積氧化鋅掺雜鋁薄膜，利用改變基板溫度、鋁摻雜含量來觀察薄膜特性的改變，分別使用200℃、100℃及室溫來成長薄膜。200℃沉積之晶粒大小最大約為9…
    • 點閱：171  下載：1 

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    以反應式濺鍍摻釩類鑽碳薄膜用於表面增強拉曼散射之研究
    • 材料科學與工程系 /111/ 碩士
    • 研究生： 古巧羽   指導教授： 周賢鎧
    • 本研究分為兩個部分，第一部分為使用反應式濺鍍法(Reactive sputtering)沉積摻釩之類鑽碳薄膜(V-DLC)，透過改變工作壓力調整V-DLC薄膜的表面形貌和結構，藉由SEM、R…
    • 點閱：233  下載：0 
    • 全文公開日期 2033/08/22 (校外網路)
    • 全文公開日期 2033/08/22 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    超低溫多晶矽薄膜沉積技術研發
    • 電子工程系 /95/ 碩士
    • 研究生： 賴自強   指導教授： 葉文昌
    • 為了實現塑膠基板薄膜電晶體的目標，我們成功地利用反應式濺鍍的方式來沉積對351nm波長具備0~56000cm-1吸收係數之SixNy半透光膜，並配合熱滯留輔助結晶技術，在塑膠基板上開發出超低溫多晶矽…
    • 點閱：312  下載：1 

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    界面氧化鋁對Al/TaOxNy/TaN及TaN/TaOxNy/Al元件之雙極式電阻切換影響
    • 材料科學與工程系 /101/ 碩士
    • 研究生： 黎佳惠   指導教授： 周賢鎧
    • 本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極，以取代昂貴之白金(Pt)作為電極，並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy，製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…
    • 點閱：311  下載：8 
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