檢索結果：共31筆資料 檢索策略： "化學氣相沉積法".ckeyword (精準)
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本篇論文主要研究方向在使用以醋酸鋅為蒸發源的化學氣相沉積法製作氧化鋅薄膜。以不同的氣體當載氣（氧氣和氬氣）和控制不同成長溫度來製造氧化鋅薄膜於矽基板上。薄膜分析以掃描電子顯微鏡、X光繞射譜線、拉曼散…
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本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法，探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先，單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下，會成長出以碳化鋁(…
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本論文使用兩種不同的二維材料之過渡金屬硫屬化合物MoS2與WSe2做異質接面的結合並進行探討其接面特性. 本論文以熱化學氣相沉積法方式, 利用固定比例的三氧化鎢與硒粉末, 三氧化鉬與硫粉末成長WSe…
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本論文研究主要在於利用水平式高溫爐化學氣相沉積法成長氮化鎵及其相關的一維奈米線材料。在氮化鎵奈米線的成長上，主要使用乙醯丙酮鎵(III)(Gallium(III) acetylacetonate)與…
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本論文成功使用熱化學氣相沉積法成長六角形排列之奈米碳管束陣列，並將氮原子摻雜於奈米碳管中增強其場電子發射特性。此論文中分別使用二種方法將氮原子摻雜於奈米碳管。(1)利用熱化學氣相沉積法成長奈米碳管時…
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在我們改良有機金屬化學氣相沉積系統的氧氣環和噴頭後，得到的二氧化銥結果有明顯的改善了均勻性和再現性，並且已成功在SA(100)和SA(012)基板上使用兩種不同的前驅物(C6H7)(C8H12)Ir…
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奈米碳管 ( Carbon nanotubes, CNTs ) 已經是奈米科技中的一項重要材料，其具有質量輕、高強度、高韌性、可撓曲、高表面積、表面曲度大、高熱導度、導電性優良等特性。奈米碳管的應用…
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本論文成功利用熱化學氣相沉積法成長奈米碳管並作為超級電容之材料。為了增加電容量，本實驗在奈米碳管成長時加入氨氣，使氮摻雜於奈米碳管之中；再利用金屬有機化學氣相沉積系統，於奈米碳管外成長二氧化釕奈米結…
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自2004年石墨烯被證實能單獨穩定的存在於自然界中，為世人開啟了名為二維材料領域的序幕，而擁有半導體能隙特性的過渡金屬二硫族化物(Transition Metal Dichalcogenides)包…
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近年來，二維層狀材料因為其獨特的物理與化學特性而廣受關注，其中，過渡金屬硫化物已經在過去幾年中被探索，並且在光電領域中展現了優異的特性。在本實驗中，我們透過化學氣相沉積法分別於二氧化矽基板上成長n型…