檢索結果:共4筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="電漿處理"
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本研究分為三個部分,第一部分探討奈米碳片結構之氫氣感測器,並進行電性和物性的測量分析;第二部分探討奈米碳片/超奈米鑽石複合結構之氫氣感測器,並進行電性和物性的測量分析;第三部分探討氮化硼/奈米碳片複…
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為了改善低溫複晶矽薄膜電晶體電特性與穩定度,本論文以Fluorosilicate glass (FSG)覆蓋在通道層即複晶矽(Poly silicon, poly-si)上,在源極與汲極形成的同時,…
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本研究利用化學氣相傳導法成長硒化銦塊材,再以機械剝離法取得硒化銦薄片,先利用電荷中性點確認本質硒化銦為n型,再以掃描式電子顯微鏡觀察樣品表面樣貌,接著用氧電漿進行氧化處理以改變其半導體特性,分別用X…
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