檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="呂立鑫" and ckeyword.raw="有效粒子分析" and ckeyword.raw="電致動力輔助化學機械拋光"
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在半導體積體電路製程中,局部拋光液膜中奈米粒子磨粒之動能在化學機械拋光過程中扮演重要角色。本研究使用電致動力技術 (Electro-Kinetic Force, EKF)配合高精密拋光機,利用電雙層…