本研究是有關以光學干涉法進行物件表面的量測。在麥克森干涉系統中加入四分之一波片與偏光鏡來產生相位移的效果，由四相位法(Four-Frame Technique)，計算出代表各點高度的相位資料，以提昇系統的解析度。相鄰兩干涉條紋間區域性相位補償，以及全試片條紋序號的補償都發展出電腦程式來進行。待測物的凹凸面判別法也在文中記載。
在本文中藉由兩片光學平鏡以量測系統的系統誤差，並判斷此誤差的凹凸面。在確定系統誤差後，再選取任一待測物進行量測，說明如何扣除原來的系統誤差，以得到真實待測物的表面輪廓。

This thesis is about using optical interference method to measure surface geometry. Phase-shifting techniques with simple optic elements were employed to increase the resolution of a Michelson interference system. The phase height of each surface point was obtained through Four-Frame technique. The required computer software were develop to compensate phase value between any two interference fringes and also among the entire surface. The principle to determine concave or convex of a surface is also provided.
An optical flat was used as a sample to determine the error of the system. Demonstration of how to compensate the system error in a measurement is illustrated in details.

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