以雷射加工應用於微細製造而言，一般雷射在製作過程中會有熱應力的現象產生而造成材料強度降低與裂縫的產生，除此之外毛邊現象也是後續處理的主要成本之ㄧ。飛秒雷射(Femtosecond laser)是採用超快脈衝來剝離材料，在材料上的熱量尚未累積時即已造成剝離(ablation)，因此被稱為冷加工，此外，飛秒雷射具有自聚焦效應(self-focusing effect)，具有最小焦點之優點，可用來做次奈米級加工，若能應用在生醫領域之微加工，則可解決雷射在熱加工後的影響。
本研究主要是以飛秒超快雷射來做基礎性實驗，所選用的材料是分別為低燃點材料、高分子材料、316L不銹鋼金屬材料，實驗包含功率、掃描速率對於切口表面與斷面情況之試驗。

The femtosecond laser ablate materials by ultra-pulse . It is ablated when thermal energy don't accumulate yet on materials , and be called “heatless machining.” Moreover, the femtosecond laser have self-focusing effect and advantage of the minimum focus , and it can be used for subnano-processing .
The femtosecond laser pulses (pulse duration 100 fs , wavelength 800 nm) was used in the research for the ablation of polymers , glasses, paper and 316L stainless steel metal material . These materials have been performed in air . The experiment includes the power and the scanning speed relations for processing experiment , and observes its margin and cross-section quality . The results can find the surface clean on these materials . The margin does not have deckle edge and without crack .

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