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    1

    鍍鑽石線對單晶矽之切削磨耗實驗
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 賴韋臣 指導教授: 鍾俊輝
    • 線鋸加工為製作半導體基板的一項重要製程之一,其中固定磨料鑽石加工有逐漸取代游離磨料鑽石加工的趨勢,原因在於切削效率的提升及汙染較少,但在固定磨料鑽石線材的品質評斷方面沒有一套明確的標準,故本研究期望…
    • 點閱:379下載:6

    2

    導輪磨耗於線鋸切削影響研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 趙培勛 指導教授: 陳炤彰
    • 近年來,隨著地球能源日漸枯竭,可不斷使用再生能源越來越受到重視,其中,太陽能為最受到重視之再生能源之一,於目前所有太陽能電池種類中,矽晶基板太陽能電池所使用之單、多晶矽基板主要運用複線式線鋸切削製程…
    • 點閱:309下載:7

    3

    單晶與多晶矽基板鑽石線鋸加工之切屑分析研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 詹明賢 指導教授: 陳炤彰
    • 目前太陽能電池製程前端所使用之結晶矽基板,主要以複線式線鋸加工技術(Multi Wire Sawing)進行矽晶錠切片(Slicing),其中游離磨料線鋸受到切割高硬脆材料效率不佳、漿料會對環境汙染…
    • 點閱:501下載:30

    4

    微量潤滑應用於鑽石線鋸切割製程之研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 陳以倫 指導教授: 鍾俊輝
    • 半導體技術的演進,除了改善性能如速度、能量的消耗與可靠性外, 另一重點就是降低製作成本。而MQL已確實可以廣泛的應用在車、銑、鑽、磨、鋸等各式切削上,且使用MQL切削可發揮良好的潤滑效果,然而在固定…
    • 點閱:395下載:1

    5

    奈米石墨液體微量潤滑對於鑽石線切割製程之研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 羅登輔 指導教授: 鍾俊輝
    • 切片製程為現今半導體產業前段製程之一,其主要加工方式為鑽石線切割為主,在加工過程當中,須以大量切削液來降低切削區溫度,並使切屑能順利排出,但這大量的切削液卻給環境大來莫大影響,不只回收困難,且工人如…
    • 點閱:366下載:1

    6

    線鋸切割用鑽石線性能測試機之開發
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 李健誌 指導教授: 鍾俊輝
    • 線鋸切割製程為半導體基材製造中的重要切片加工製程,切割線材的品質,會影響產品良率與品質的好壞,但目前市面上,沒有一套可以評斷線材品質的儀器及標準。故本研究擬開發一套鑽石線材測試機,針對鑽石線在反覆切…
    • 點閱:465下載:25

    7

    奈米氧化鋁液體微量潤滑對於鑽石線鋸切割製程之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 李明銓 指導教授: 鍾俊輝
    • 目前半導體基板之切片製程主要以固定磨料線切割為主,在切削過程中,必須使用大量的切削液,幫助降低工件溫度及排屑等功效,可以大幅改善切片的品質,但使用後之大量液體需要經過過濾以及回收等程序,造成成本上的…
    • 點閱:429下載:1

    8

    矽基板線鋸加工之表面形貌分析研究
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 林鼎將 指導教授: 陳炤彰
    • 隨著國際石油價格提高,永續性替代能源與製造成為研究主要方向,以矽(Si)為材料的太陽能基板主要由複線式線鋸切割技術(multi-wire sawing)進行切削。本研究主目的為建立線鋸分析程式(Wi…
    • 點閱:440下載:14

    9

    鍍鑽石線之刀具壽命研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 許峯旗 指導教授: 鍾俊輝
    • 現今半導體產業,為了追求晶圓生產速度,不斷地提升切片製程之效率,例如提高線速度與進給率,且改用鍍鑽石線作為主要切片工具,但線材受到磨耗影響發生斷線是必然的結果,因此必須找出評斷切削參數對線材壽命影響…
    • 點閱:389下載:4

    10

    固定磨料鑽石線鋸製程之運動模型與模擬
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 梨文一 指導教授: 鍾俊輝
    • 半導體晶圓製造往往會遇到品質提升與成本降低的挑戰,晶片通過一系列的製造處理,包括晶體生長,切片,壓扁和清潔,線鋸加工是應用於晶片基板製造的主要切片工具。游離磨料線鋸加工為起先在半導體行業中使用之切片…
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