檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "surface profile".ekeyword (精準)
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」，用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念，結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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本研究旨在開發一組可攜式表面量測系統，能同時對表面輪廓及粗糙度作評估。完成的硬體是將雷射光經由括束與光柵產生三條平行光線，再以一入射角投射於待測表面，而反射後的光條紋被投射於屏幕，藉由相機擷取後進行…
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本論文主旨為開發可攜帶式非接觸式表面量測系統，對拋光後的表面輪廓及粗糙度做評估分析。雷射光源經過擴束透鏡，利用光柵形成一條至三條的平行光線，投射於待測物表面後，反射在成像屏幕上，再以CCD …
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本研究成功開發出一套新式剪切干涉式波前感測器透鏡輪廓與像差量測系統，用以量測光束穿過待測透鏡後的波前變化。除了可藉由分析波前的變化情形求出待測透鏡的各階像差及相對應的Zernike像差係數之外，亦能…
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本研究目的為改良既有的可攜帶式非接觸式表面量測系統，前代系統之擴束裝置為利用兩塊平凸透鏡所組成，導致較邊緣的光線產生畸變，造成輪廓量測時產生較大之誤差；另一方面造成其擴束光源亮度均勻度不佳，也…
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本論文主要將可攜帶式非接觸式雷射表面量測系統整合於機器手臂上，以實現對拋光後工件的即時量測。本研究開發的量測系統能夠同時對表面粗糙度和表面輪廓進行評估分析。 本研究主要使用LabVIEW作…