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    反應濺鍍法製備鎂摻雜氮化銦鎵薄膜及其特性分析
    • 材料科學與工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 顏煒峻 指導教授: 郭東昊
    • 本實驗成功的以RF反應式濺鍍法來製備p型Mg摻雜InGaN薄膜。並且也成功的將GaN薄膜與摻雜Mg的InGaN薄膜堆疊製作成二極體觀察其電特性。於本實驗中我們利用EDS、SEM、AFM、XRD、霍爾…
    • 點閱:219下載:3

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    反應性濺鍍法製備錫摻雜氮化鎵及氮化銦鎵薄膜與其特性分析
    • 材料科學與工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 丁昭崴 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以RF反應性濺鍍法製備n型Sn摻雜GaN及InGaN薄膜,並將摻雜不同成分之Sn-x GaN薄膜與p-type Silicon基板堆疊製作成p-n二極體,進而觀察其電特性。於本實驗中我們利用E…
    • 點閱:252下載:1

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    反應濺鍍法製備鋅摻雜氮化鎵與鋅摻雜氮化銦鎵薄膜及其特性分析
    • 材料科學與工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 李冠璋 指導教授: 郭東昊
    • 本研究成功的以RF反應式濺鍍法來製備p型Zn摻雜GaN以及Zn摻雜InGaN薄膜。實驗所需要的濺鍍靶材是將不同比例的金屬In、Ga、Zn與GaN陶瓷粉末進行混合後熱壓而成的陶金靶,製備出p型Zn摻雜…
    • 點閱:217下載:4
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