檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "glutamate biosensor".ekeyword (精準)
個人化服務 ：
排序：
每頁筆數：
已勾選0筆資料
1
本研究利用半導體製程技術研發製備植入型微電極陣列探針，其中所應用的半導體製程包括加熱、微影、薄膜、蝕刻等，並針對每個步驟進行最佳化，進而製備出精密、微型、高產量、低成本的微電極陣列探針。製程主要可分…
2
本研究利用半導體加工製程技術製備微電極陣列感測探針，製程的部分共分成為三個階段，第一階段為金屬圖案之定義，使金屬導線，封裝端與電極端的圖案成形。第二階段為探針導線區域絕緣，對整片晶圓沉積介電層後，運…