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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓之化學機械拋光製程分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 林妤靜   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在高功率元件裡相較於單晶單化矽(Silicon)具有高崩潰電壓高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率，然而單晶碳化矽具有高硬度(Mohs 9.2)…
    • 點閱：379  下載：1 

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    運用動態量測系統進行拋光墊之修整模型建立與線上量測分析研究
    • 機械工程系 /109/ 博士
    • 研究生： 李人傑   指導教授： 陳炤彰
    • 化學機械平坦化/拋光（CMP）製程在半導體製造產業中扮演著不可或缺的角色。拋光墊與研磨液為其中最關鍵的兩種耗材，在CMP製程中拋光墊承載著研磨液，使其可均勻分布在晶圓表面，同時提供了機械研磨力。隨著…
    • 點閱：237  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/08/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/30 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/30 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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