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    低溫矽膜濺鍍磊晶技術之開發
    • 電子工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 黃祥恩 指導教授: 葉文昌
    • 本研究在濺鍍壓力為5 mTorr及載台溫度為250℃的條件下成功開發出矽膜濺鍍磊晶技術,其所需真空度為1.0×10-6 Torr。另外在檢測磊晶矽膜的品質部份,本研究以Raman、RHEED系統量測…
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    電漿沉積氫化非晶矽/鍺薄膜於單晶矽/鍺晶片上的磊晶臨界溫度之研究
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 陳林震 指導教授: 洪儒生
    • 本論文乃以未來世代高效矽晶太陽能電池的技術發展為議題,針對矽 晶以及鍺晶可能製作矽、鍺異質接合,分別以射頻電漿輔助化學氣相沉積法將氫化非晶矽及氫化非晶鍺薄膜沉積於鍺晶及矽晶上,以反射式電子高能…
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