檢索結果：共11筆資料 檢索策略： "Photolithography".ekeyword (精準)
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先前台灣科技大學光電加工實驗室之顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統（Maskless Photolithography System）之解析度僅能到…
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目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影，但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題，本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統，其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…
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本論文主要是探討感光性材料之硬化機制並提出新的概念與方法於單層材料上製作3D微小元件。 在製程中是利用面成型加工技術，依感光性材料對不同波長有著不一樣的光敏感度之特性與自行設計鏡組來搭配平台以改變光…
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本論文主要是利用先前實驗室研發設計的顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統（Maskless Photolithography System）製作TFT…
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氮化鎵是製作發光二極體最主要的材料之一，而氮化鎵的直接能隙(3.4eV)與氮化銦直接能隙(0.7eV)所混合的三元化合物氮化銦鎵(InGaN)可做為發光二極體以及太陽能電池元件。 由於p型氮化鎵之功…
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本實驗利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸 2-(二乙氨基)乙酯(Poly(2-(Di…
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糖尿病為一種全球常見的疾病，病徵包含胰島素缺乏與高血糖。糖尿病主要影響身體內器官引起長期損害與功能障礙的現象，並伴隨著許多併發症，如同:心臟病、腎衰竭與失明等。目前最為廣泛發展的電化學葡萄糖生物感測…
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本研究為設計一高分子材料以偵測目標中的鼠疫抗原(Antigen of Yersinia pestis)。基材為線/間距比率為1：1.5的圖案化光阻矽晶圓，其線寬為500 nm、600 nm、700 …
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本研究為設計一嵌段高分子材料以偵測全血中的鼠疫桿菌(Yersinia pestis)，在檢測的同時屏除白血球的干擾。基材為柱/間距比率為1：1.5的透過翻模製備的圖案化聚二甲基矽氧烷(Poly(di…