檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Hsiao-wen Zan".ecommittee (精準)
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本研究開發氧化矽閘極絕緣膜及多晶矽膜之低溫濺鍍沉積技術,以利塑膠基板上薄膜電晶體之製作。此外,我們利用準分子雷射退火技術實現鍺膜之超級橫向成長,並觀察此長晶現象。本研究在室溫下藉由脈衝直流磁控反應性…
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本論文以直流磁控式濺鍍法實現矽/鍺膜同/異質磊晶,成功地在矽基板上達成矽膜和鍺膜的同異質磊晶成長,以及在鍺基板上之鍺膜同質磊晶。最後並以濺鍍磊晶成長矽膜於矽基板上之方式形成n+-p接面二極體元件。論…