檢索結果:共28筆資料 檢索策略: "Gas sensor".ekeyword (精準)
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本論文主要利用化學氣相沉積(MOCVD)方式,在鍍於石英晶片上之金電極表面沉積二氧化銥,以此製作QCM質量式感測器,針對酸類及胺類氣體進行感測,發現有不錯的感測靈敏度,其偵測濃度可達數個ppm。 …
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不斷擴大的人類活動和迅速的工業發展,使得空氣污染的問題變得日益嚴重。其中工廠排放的污染氣體會導致酸雨、全球暖化,乃至於危害人類健康。因此,如何有效偵測並監控這些有害氣體在近年來成為一項重要的議題。新…
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本論文主要利用化學氣相沉積方式,在鍍於石英晶片上之金電極表面沉積二氧化銥,以此製作QCM質量式感測器,針對有機揮發性(VOC)氣體進行感測。我們發現,在IrO2上濺鍍金(Au)薄層,可以提高IrO2…
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摘 要 科技的進步,對環境的汙染日趨嚴重,於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞;而在日常生活中,每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生,因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外,…
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本研究係利用陽極氧化法製備出二氧化鈦奈米管陣列(TNA),在室溫下以含氟的EG/H2O電解液中,利用陽極氧化法在純鈦表面製備了規則有序的TiO2奈米管陣列。 本實驗結果發現,平坦型的二氧化鈦奈米管陣…
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本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…
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本研究分為兩部分,第一部分為利用噴霧裂解法(Spray pyrolysis)及水熱法(Hydrothermal method),製備氧化鋅薄膜及氧化鋅奈米桿;第二部分我們將氧化鋅薄膜及奈米桿製備成感…
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中文摘要 本論文研究在氧化鋁基材上利用網印法塗佈高溫銀膠,經高溫燒結後作為電極,接著以真空磁控濺鍍法於其上成長鈷薄膜,再於不同氣氛下以加熱板直接加熱使其表面產生微奈米結構氧化鈷,以提高其比表面積,製…
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本論文分為二部分,第一部分探討不同成長濃度的氧化鋅奈米柱及不同數量的二氧化鈦複合氧化鋅奈米柱之氫氣感測器,並進行物性及電性之分析;第二部分探討在基底加入由化學氣相沉積法製造的石墨稀,接著成長…
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本論文分為兩個部分,第一部分探討以不同時間成長還原氧化石墨烯以及超奈米結晶鑽石的品質,並將其分別製作成氫氣感測元件做分析,且探討還原氧化石墨烯與不同成長時間超奈米鑽石結晶複合結構之氫氣感測特…