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本論文旨在探討碘蒸氣輔助聚焦離子束蝕刻製備氧化鎵披覆氮化鎵奈米尖錐及其特性分析。實驗首先以射頻式濺鍍系統沉積純銀薄膜，接著經由熱氧化方式形成雙層遮罩結構，最後使用碘蒸氣輔助聚焦離子束蝕刻製備氧化鎵披…
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自從奈米碳管（carbon nanotubes）於1991年被發現後，引起了各界廣大的興趣，因為奈米碳管獨特的物理性質和許多潛在應用方面。奈米碳管因為具有極高的高寬比、小的曲率半徑、優異的化學穩定性…
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利用化學氣相沉積法以氣相－固相成長機制合成一維氧化鋅奈米結構時，如：奈米線、奈米尖錐或奈米柱，大多是利用活性低的貴金屬做為催化劑，如：金、鉑和銀，而本論文主要是利用活性較高的鎢金屬薄膜做為催化劑…
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在本研究中, 我們以銅箔作為石墨烯之成長基板, 並將銅箔置於可移動式熱化學氣相沉積系統成長石墨烯, 其光穿透率可達85%. 接著, 將最佳化設計之奈米碳管束陣列以熱化學氣相沉積法成長於石墨烯上. 再…
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本論文主要利用冷壁式有機金屬化學氣相沉積法 (Cold-wall metal organic chemical vapor deposition, MOCVD) 製備銳鈦礦二氧化鈦 (Anatase…
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本論文主要探討利用垂直冷壁式有機金屬化學氣相沉積法(Cold-wall metal organic chemical vapor deposition; MOCVD)及自組反應式射頻磁控濺鍍系統(H…
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利用銅箔以化學氣相沉積的方法成長石墨烯，利用濕式轉移方式將石墨烯轉移至平面矽基板、金字塔結構矽基板以及矽奈米線基板上。在平面矽基板上轉移不同層數石墨烯場發射。量測不同層數石墨烯的功函數。石墨烯的邊緣…
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本研究係利用陽極氧化法製備出二氧化鈦奈米管陣列(TNA)，在室溫下以含氟的EG/H2O電解液中，利用陽極氧化法在純鈦表面製備了規則有序的TiO2奈米管陣列。 本實驗結果發現，平坦型的二氧化鈦奈米管陣…
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本論文主要分為兩部份，第一部份先探討不同時間成長石墨烯薄膜對場發射的影響，接著轉移不同層數石墨烯於不同結構上做分析，第二部份先探討不同氣體比例成長鑽石薄膜對場發射的影響，接著選取前一節最佳成長鑽石的…
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奈米碳管由於其高長徑比、低功函數等特性，被視為是下一世代場發射顯示器之理想材料。然而，要達到實際量產的程度，仍有許多問題需要克服，例如：穩定性、均勻性等。本實驗討論了兩種改善奈米碳管場發射特性的方法…