檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Ding-kuo Ding".ecommittee (精準)
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎,分為兩部分:第一部份為成長低介電係數薄膜,實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
2
本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物,使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜,並分析其結構及光電性質,期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…
3
本研究係用射頻電漿系統沉積氫化非晶矽薄膜,調變製程重要參數如氫氣稀釋比、基材溫度、工作壓力以及電極間距等,藉由傅立葉轉換紅外光光譜儀(FT-IR)以及紫外光/可見光光譜儀(UV-VIS)等分析方法,…