檢索結果：共1189筆資料 檢索策略： "Chun-nan Chen".ecommittee (精準) and ekeyword.raw="none"
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本實驗設計並製造一種利用陽極層離子源的離子束濺鍍模組。此模組將一倒置的環形陽極層離子源與濺鍍靶材做結合，以減少所需的真空腔體。利用此離子束濺鍍模組將氧化銀沉積在石英基板上。研究結果顯示，銀僅在氧氣分…
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