檢索結果：共47筆資料 檢索策略： "Chao-Chang A. Chen".eadvisor (精準)
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化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization, CMP)目前已被廣泛應用於IC產業中，隨著近年來半導體線寬不斷縮減，CMP製程之穩定性與重現性不斷面臨挑戰。而在…
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本研究目的為探討二氧化矽顆粒於化學機械研磨/平坦化(CMP)製程中的加工機制。研究方法是將直徑為800奈米的二氧化矽顆粒黏著於探針尖端，形成顆粒式探針(tip-grit)，與運用封閉式回饋控制系統原…
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本研究以澆口設計之射出成形對LED二次光學透鏡(Second Optical Lens) 的光學性能影響作探討，針對不同二次光學透鏡的尺寸厚度及大小，利用三維充填與參數化澆口設計，以模流分析方式，觀…
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受到地球能源耗竭之危機，各國開始重視降低碳排量等議題，其中以發光二極體(Light-emitting diode, LED)備受焦點。目前LED基板主要使用材料為單晶氧化鋁或藍寶石基板，此基板大多以…
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近年來由於環保意識抬頭，可達節能減碳目的之LED照明因此快速發展，做為LED照明鍍膜基板的單晶藍寶石晶圓也因此受到重視及探討。然而，單晶藍寶石晶圓為硬度相當高(莫氏硬度9)之硬脆材料，其平坦化之加工…
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本研究設計與製造非球面陣列透鏡(Aspheric Lens Array, ALA)作為成像與照明兩種用途之光學元件。在本研究中，將探討成像用非球面陣列透鏡(Aspheric Lens Array f…
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化學機械拋光是半導體製程中可達到全域性平坦化的一項重要技術，但是化學機械研磨應用於銅導線與以Low-k材料為主的介電層之多層導線架構平坦化製程時，易造成殘留應力、刮痕與平坦化後後續清洗等都是需要克服…
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本研究發展一閉迴路微射出壓縮成形技術，並探討多尺度複合式光學元件之Fresnel繞射結構複製性。研究中以LabVIEW與電腦系統建立一控制發展平台，在此平台上控制器的設計、模擬與應用皆可整合於同一架…
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近年來在重建3-D人體解剖器官和結構的影像是一個相當有趣課題，惟大部分之生醫輪廓乃屬自然形狀且非對稱曲面，若欲獲得準確的重建輪廓是一項艱難的工程技術。本研究提出SA-NURBS法，將模擬退火法(Si…
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澆口是塑膠射出成形模具上很重要的一個設計，直接影響了射出成品的品質，其設計主要是為了調節熔膠流速、流量及方向來獲得好的產品品質。以澆口的位置、形狀與尺寸之設計使模穴內有最佳的流動及最小的壓力損失，依…