簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "CMP".ckeyword (精準)


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    整合CMP工程創研知識及商務知識之多代理人雛型模式
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生： 林幸輝   指導教授： 林榮慶
    • 本文將利用本體論觀念，開發多代理人技術。並且利用UML塑模技術，改善本體論在描述知識的不足，以補強多代理人在溝通協調上的不足。並且結合TRIZ機制，開發一套創研流程;以達到縮短研發時間之效果。 …
    • 點閱：273  下載：2 
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

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    拋光墊表面微突起接觸面積對銅薄膜晶圓化學機械拋光之影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生： 林峻宇   指導教授： 陳炤彰
    • 本研究目的為下壓力對於軟拋墊表面微突起接觸面積的影響與材料移除率預測模型應用於銅薄膜化學機械拋光製程。實際方法使用X-ray電腦斷層掃描儀進行軟拋墊的微觀形貌掃描，再透過三維分析軟體組建軟拋墊的微觀…
    • 點閱：216  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/09/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (校外網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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